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Digital encoders for curvilinear displacement and rotational angle based on periodic surface acoustic wave
基于周期表面声波的曲线位移和旋转角度数字编码器
基本信息
- 批准号：23656059
- 负责人：
- 金额：$ 2.75万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2011
- 资助国家：日本
- 起止时间：2011 至 2012
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
It has been so difficult to provide highly precise gratings required for conventional digital encoders. In this study, no process above is needed because displacement measurement is based on periodic surface acoustic waves (SAWs) generated on a surface of measured object. SAW devices consisting of a piezoelectric substrate and interdigital electrodes were fabricated both for generating and for receiving the SAW with a wavelength of 0.16 mm. Moreover, it was confirmed to detect the SAW propagated along a glass substrate by measuring delay time.
很难为传统数字编码器提供高度精确的光栅。在这项研究中，由于位移测量是基于在测得的物体表面上产生的周期性表面声波（SAW），因此不需要上述过程。制造了由压电基底物和互构件组成的锯设备，用于生成和接收0.16 mm的锯。此外，已确认可以通过测量延迟时间来检测沿玻璃基板传播的锯。
项目成果
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