Research on metal-film subwavelength grating polarizer

金属膜亚波长光栅偏振片的研究

• 批准号: 23656231
• 负责人: SHIRAISHI Kazuo
• 金额: $ 2.33万
• 依托单位: Utsunomiya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656231/
• 关键词: 偏光子; サブ波長格子; 中赤外; テラヘルツ; 異方性エッチング

New polarizers with high performance have been successively obtained. (1) Terahertz region: A new fabrication method utilizing the thermal imprinting was employed to fabricate the polarizer. The method is simple and applicable for the mass production. The insertion loss of less than 0.2dB with an extinction ratio as high as 50dB have been obtained at the frequency of 2THz, showing that the goal of the project has been reached. (2) Mid-infrared region: Triplicated subwavelength metal films for the polarizer are formed on both sides of a 0.3mm-thick silicon wafer. The nsertion loss of 1.0dB with an extinction ratio of 32dB have been obtained at the wavelength of 18um, showing that data close to the goal have been obtained. A new polarizer structure having an anti-reflection effect to the silicon substrate was newly proposed, which is promising to attain the goal.

相继获得了高性能的新型偏光片。 (1)太赫兹区域：采用热压印的新制造方法来制造偏光片。该方法简单，适合大规模生产。在2THz频率下获得了小于0.2dB的插入损耗和高达50dB的消光比，表明该项目的目标已经达到。 (2)中红外区：在0.3mm厚的硅片的两面形成三层亚波长金属膜作为偏光片。在18um波长处获得了1.0dB的插入损耗和32dB的消光比，表明获得了接近目标的数据。新提出了一种对硅基板具有减反射作用的新型偏光片结构，有望实现这一目标。

项目成果

中赤外用多層金属薄膜サブ波長格子構造偏光子の挿入損失低減化

降低中红外多层金属薄膜亚波长光栅结构偏振片的插入损耗

• 发表时间: 2013
• 作者: 鈴木貴博;諏訪翔也;六本木誠;依田秀彦;白石和男
• 通讯作者: 白石和男

高い消光比を有する赤外用金属薄膜サブ波長多重格子構造偏光子

高消光比红外金属薄膜亚波长多光栅结构偏光片

• 发表时间: 2012
• 作者: 鈴木貴博;六本木誠;依田秀彦;白石和男
• 通讯作者: 白石和男

改良インプリント法による金属薄膜サブ波長格子構造偏光子の作製

改进压印法制作金属薄膜亚波长光栅结构偏光片

• 发表时间: 2011
• 作者: 小藤美紗子;稲川雄太;大野泰司;依田秀彦;白石和男
• 通讯作者: 白石和男

Infrared polarizer employing multiple metal-film subwavelength gratings.

• DOI: 10.1364/oe.21.013998
• 发表时间: 2013-06
• 期刊: Optics express
• 影响因子: 3.8
• 作者: K. Shiraishi;H. Yoda

金属薄膜サブ波長多層格子構造偏光子の反射損失低減化

金属薄膜亚波长多层光栅结构偏振片反射损耗的降低

• 发表时间: 2014
• 作者: 鈴木貴博;六本木誠;依田秀彦;白石和男
• 通讯作者: 白石和男