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自立サブ波長格子を用いた光通信用可変フィルタ

使用自支撑亚波长光栅的光通信可调谐滤波器

基本信息

批准号：
06F06375
负责人：
羽根一博
金额：
$ 1.54万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2008
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-06F06375/
关键词：
グレーティング MEMS 可変格子電磁界解析

项目摘要

自立したシリコンのサブ波長格子を用いた,波長選択フィルタを設計し,試作した.サブ波長格子であるため,格子の構造と波長の共鳴効果により,共鳴波長について高い反射率と波長選択性が得られる.本研究では,理論的研究によるフィルタの設計と,シリコンマイクロマシニングによるナノファブリケーションを行い,試作デバイスについて測定・評価を行った.具体的には,1.5μm帯域において,共鳴効果が得られる,自立シリコン格子をSOIウエハから製作した.今回SOIウエハのシリコン基板をエッチングにより取り除くことに,初めて成功した.これにより,基板からのノイズ反射光がなくなり,コントラストの高い信号を得ることができた.格子の偏光特性を測定し,理論計算とのよい一致が得られた.自立したシリコン格子の周期を可変にするために,自立したサブミクロン周期のシリコン格子とMEMSアクチュエータを接続した構造を設計・試作した.特に周期の引き伸ばし構造を実現するため,蛇腹タイプの構造で設計・試作したデバイスについて,詳細に測定し,結果を評価した.蛇腹構造の接合はりの影響は大きくないことが示され,提案構造の有効性が示された.試作により,サブミクロンである周期の引き伸ばしに成功し,反射強度スペクトルの変化を測定することができた.共鳴により反射強度は大きいが,選択波長帯域が広いので,狭帯域化するために,理論計算を行った.格子のデューティー比を小さくすることと,格子断面形状を円形にすることで,狭帯域化できることを見出した,これらの結果に基づいて製作し,基本部分を確認することが出来た.以上の理論研究と実験研究により,目的の大部分を達成することができた.

Independent of the wavelength grid, wavelength selection, design, trial.サブ波长格子であるため,格子の构造と波长の共振効果により,共振波长について高い反射率と波长选択性が得られる. This study is a theoretical study on the design and evaluation of the design and evaluation of the system. Specifically, 1.5 μm band, resonance effect is obtained, self-supporting SOI lattice is fabricated. Today, the SOI substrate has been successfully removed from the substrate. The light reflected from the substrate is reflected, and the signal from the substrate is high. Polarization properties of lattice are measured and theoretical calculations are consistent. The design and trial of the self-supporting lattice can be carried out. Special period and extension structure design, trial, detailed measurement and evaluation of results The influence of the joint of the snake web structure is great. Try to measure the reflection intensity of the light beam. Resonance reflection intensity is large, wavelength band is selected, narrow band is selected, theoretical calculation is performed. The lattice section is shaped like a circle, and the result is based on the shape of the lattice section. Most of the above theoretical studies have been achieved.