课题基金 / 基金详情

Evaluation of Mechanical Properties of Thin film Structure by UsingMEMS Technology

Evaluation of Mechanical Properties of Thin film Structure by UsingMEMS Technology
利用MEMS技术评估薄膜结构的机械性能
批准号：
23760103
负责人：
ANDO Taeko
金额：
$2.91万
依托单位：
Ritsumeikan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760103/
关键词：
マイクロマシンマイクロ材料破壊力学半導体材料単結晶シリコン機械的特性ヤング率引張強度不純物濃度マイクロ材料力学MEMS破壊特性脆性延性遷移

项目摘要

项目成果

ANDO Taeko的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
The objective of this study is to reveal the factor influencing the fracture property of single crystal silicon in micro- and nano-scale. We have developed the tensile testing device for dealing with microscale samples. Concentration of impurities (B and Ge) in three testing material were different from each other. Measured Young’s modulus and fracture strength decreased with increasing the impurities concentration.
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Dependence of Mechanical on Position in Silicon Ingot by Evaluating B and Ge Codoped Silicon
通过评估 B 和 Ge 共掺杂硅来评估机械对硅锭中位置的依赖性
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [D. Yamashita, M. Noda, K. Funami, 田中展,渋谷陽二,泉聡志,酒井信介, T. Shirata]
通讯作者： T. Shirata
シリコンインゴットの部位における機械特性の依存性をボロンとゲルマニウムのコドープシリコンによる評価
使用硼和锗共掺杂硅评估机械性能对硅锭部件的依赖性
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [Hama, T.,Seto, Y., Tanaka, M., Kusano, H., Hirano, Y., Aoki, Y., Saito, H., Kimpara, I., 白田竜也]
通讯作者： 白田竜也
Evaluation of physical properties of nano-scale structures by combination of MEMS and in-situ TEM observation
  • 批准号：
    16H03819
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.48万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    ANDO Taeko
  • 依托单位：
    Ritsumeikan University
海外基金