Evaluation of physical properties of nano-scale structures by combination of MEMS and in-situ TEM observation
Evaluation of physical properties of nano-scale structures by combination of MEMS and in-situ TEM observation
MEMS与原位TEM观察相结合评估纳米级结构的物理性能
批准号：
16H03819
负责人：
ANDO Taeko
金额：
$12.48万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
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Role of Preferential Crystallographic Orientation in Piezoresistance Anisotropy for Cubic Polycrystalline Aggregates
择优晶体取向在立方多晶聚集体压阻各向异性中的作用
择优晶体取向在立方多晶聚集体压阻各向异性中的作用
DOI：
10.18494/sam.2018.1960
发表时间：
2018
期刊：
Sensors and Materials
影响因子：
1.2
作者：
[Ando Taeko, Toriyama Toshiyuki]
通讯作者：
Toriyama Toshiyuki
Fabrication of High-Aspect Nanoscale Hole in Si with Photo-Electro-Chemical Etching
利用光电化学蚀刻在硅中制造高深宽纳米级孔
利用光电化学蚀刻在硅中制造高深宽纳米级孔
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Taeko Abdi, Jyunya Touno, Noriyuki Tamura]
通讯作者：
Noriyuki Tamura
Piezoresistance for Polycrystalline Aggregates Represented by Crystallite Orientation Distribution Function
以微晶取向分布函数表示的多晶聚集体的压阻
以微晶取向分布函数表示的多晶聚集体的压阻
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kohei Okada, Syugo Tanaka, Kensuke Nakata, Masahiro Nakajima and Taeko Ando, 安藤妙子, Taeko Ando and Toshiyuki Toriyama]
通讯作者：
Taeko Ando and Toshiyuki Toriyama
Piezoresistive Rosette Gauge Taking into Account of Silicon Cubic Crystal Anisotropy
考虑硅立方晶体各向异性的压阻玫瑰花计
考虑硅立方晶体各向异性的压阻玫瑰花计
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kohei Okada, Shinya Nakamura and Taeko Ando, 中村真也，安藤妙子，上野晃平, T. Ando and T. Toriyama]
通讯作者：
T. Ando and T. Toriyama
In-Situ Observation of Fracture Behavior of Silicon in a Transmission Electron Microscope
硅断裂行为的透射电子显微镜原位观察
硅断裂行为的透射电子显微镜原位观察
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kohei Okada, Syugo Tanaka, Kensuke Nakata, Masahiro Nakajima and Taeko Ando]
通讯作者：
Masahiro Nakajima and Taeko Ando
共 17 条
Evaluation of Mechanical Properties of Thin film Structure by UsingMEMS Technology
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批准号：23760103
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.91万
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财政年份：2011
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负责人：ANDO Taeko
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依托单位：
海外基金