Evaluation of physical properties of nano-scale structures by combination of MEMS and in-situ TEM observation

MEMS与原位TEM观察相结合评估纳米级结构的物理性能

• 批准号: 16H03819
• 负责人: ANDO Taeko
• 金额: $ 12.48万
• 依托单位: Ritsumeikan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H03819/
• 关键词: 単結晶シリコン; 引張変形; ピエゾ抵抗; TEM; 高倍率観察; 引張試験; ピエゾ抵抗効果; 結晶方位依存性; マイクロ・ナノデバイス; マイクロマシン; ナノ材料; ナノ物性; 電子顕微鏡; 高分解能観察

项目成果

Role of Preferential Crystallographic Orientation in Piezoresistance Anisotropy for Cubic Polycrystalline Aggregates

择优晶体取向在立方多晶聚集体压阻各向异性中的作用

• DOI: 10.18494/sam.2018.1960
• 发表时间: 2018
• 期刊: Sensors and Materials
• 影响因子: 1.2
• 作者: Ando Taeko;Toriyama Toshiyuki
• 通讯作者: Toriyama Toshiyuki

Fabrication of High-Aspect Nanoscale Hole in Si with Photo-Electro-Chemical Etching

利用光电化学蚀刻在硅中制造高深宽纳米级孔

• 发表时间: 2018
• 作者: Taeko Abdi;Jyunya Touno;Noriyuki Tamura
• 通讯作者: Noriyuki Tamura

Piezoresistance for Polycrystalline Aggregates Represented by Crystallite Orientation Distribution Function

以微晶取向分布函数表示的多晶聚集体的压阻

• 发表时间: 2017
• 作者: Kohei Okada;Syugo Tanaka;Kensuke Nakata;Masahiro Nakajima and Taeko Ando;安藤妙子;Taeko Ando and Toshiyuki Toriyama
• 通讯作者: Taeko Ando and Toshiyuki Toriyama

Piezoresistive Rosette Gauge Taking into Account of Silicon Cubic Crystal Anisotropy

考虑硅立方晶体各向异性的压阻玫瑰花计

• 发表时间: 2016
• 作者: Kohei Okada;Shinya Nakamura and Taeko Ando;中村真也，安藤妙子，上野晃平;T. Ando and T. Toriyama
• 通讯作者: T. Ando and T. Toriyama

In-Situ Observation of Fracture Behavior of Silicon in a Transmission Electron Microscope

硅断裂行为的透射电子显微镜原位观察

• 发表时间: 2018
• 作者: Kohei Okada;Syugo Tanaka;Kensuke Nakata;Masahiro Nakajima and Taeko Ando
• 通讯作者: Masahiro Nakajima and Taeko Ando