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Dynamic propertie evaluation of micro/nano bonding by ultra fine MEMS vibratos

Dynamic propertie evaluation of micro/nano bonding by ultra fine MEMS vibratos
超精细MEMS振动器微纳键合动态性能评价
批准号：
23656471
负责人：
HIGO Yakichi
金额：
$2.5万
依托单位：
Ritsumeikan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656471/
关键词：
マイクロ接着評価接着動特性MEMSマイクロ振動子

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项目成果

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英文摘要
The micro/nano bonding is important technology for MEMS devices. There is few methods to evaluate its dynamic properties. This research developed the evaluation method using microsized vibrator of 20 to 300μm of length manufactured by MEMS. The transfer function of the vibration was measured by laser Doppler for analyzing dynamic properties of the bonding. The measurement were performed on no-bonding, soft and hard polymer glue. The resonant frequency and Q value were systematically changed with bonding condition. It is concluded that the micro vibrator is strongly reflect the dynamic bonding properties.
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会议论文
A 300 MHz Metal Resonator Utilizing the Extensional (1,2)Mode
利用扩展 (1,2) 模式的 300 MHz 金属谐振器
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [Yao-Tong Lai, Mayu Sato, Kazuki Akamatsu, Shin-ichi Nakao, Yasuyuki Sakai, Taichi Ito, Y.Nihii]
通讯作者： Y.Nihii
Adhesion for MEMS Switches with Platinum Bumps
具有铂凸块的 MEMS 开关的粘附力
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [R. Sumitomo, R. Kitamura, Y. Higo, T. Furutsuka, and K. Suzuki]
通讯作者： and K. Suzuki
Numerical analysis for acoustic resonance of one-dimensional nonlinear elastic bar
一维非线性弹性杆声共振数值分析
DOI： --
发表时间： 2012
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [R. Tarumi, T. Matsuhisa and Y. Shibutani]
通讯作者： T. Matsuhisa and Y. Shibutani
Low temperature elastic constants and piezoelectric coefficients of LiNbO3 and LiTaO3 : RUS measurement and lattice dynamics analysis
LiNbO3 和 LiTaO3 的低温弹性常数和压电系数：RUS 测量和晶格动力学分析
DOI： --
发表时间：
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [R. Tarumi, T. Matsuhisa and Y. Shibutani]
通讯作者： T. Matsuhisa and Y. Shibutani
共 7 条
    Formation of Self-Oriented Nanocrystals in an Amorphous Alloy under Focused-Ion-Beam Irradiation
    • 批准号：
      14205101
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $35.28万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      HIGO Yakichi
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Development of Versatile Mechanical Testing Machine for Sub-Micro-Sized Specimens
    • 批准号：
      12555186
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.32万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      HIGO Yakichi
    • 依托单位：
      TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
    STUDY ON STRESS CORROSION CRACKING MECHANISM AND CRACK GROWTH VELOCITY BY MEANS OF FREQUENCY ANALYSIS OF ACOUSTIC EMISSION.
    • 批准号：
      08455319
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $4.74万
    • 财政年份：
      1996
    • 负责人：
      HIGO Yakichi
    • 依托单位：
      TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
    Detection of Fatigue Degradation in Functional Thin Surface Film Layer and Its Inspection System
    • 批准号：
      02555147
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.9万
    • 财政年份：
      1990
    • 负责人：
      HIGO Yakichi
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology