Piezoelektrische mikro-elektromechanische Systemkomponenten und Sensorsysteme in Langasit für Hochtemperaturanwendungen

基于硅的微机电系统，只在室温下安装。Darüber hinaus ist für viele Anwendungen die Implementation von piezelektrischen Systemkomponenten zur Realisierung aktorischer bzw. sensorischer Funktionen erforderlich.传统的压电材料如锂和石英，在450°C的温度下工作。Langasit（La3Ga5Sio14）ein neues hochtemperaturtaugliches piezelektrisches Material，ermöglicht dagegen völlig neue Funktionsprinzipien für mikro-elektromechanische System.因此，高温微泵、剂量系统和传感器阵列在高温气体传感器韦尔登中非常重要。Das Vorhaben hat daher zum Ziel，mikro-elektromechanische Systemkomponenten auf der Basis von Langasit für Einsatztemperaturen bis zu 900°C zu entwickeln.最后给出了前一个项目演示韦尔登的一个Biegeschwingern数组的函数。此外，这是一个真正的电子元件，就像真空二极管一样，所以这是一个元件。在第二个项目实施韦尔登können。TU-Clausthal是AG Sensorik的核心，它负责材料科学基础的研究。Dabei stehen geeignete Dotierungen für Ätzstopps，die Untersuchung von Bondreaktionen und die Charakterisierung der Mikrostrukturen im Vordergrund.在马格德堡大学的微系统技术研究中，我们解决了压电陶瓷结构的设计与实现问题。对Langasit的荧光强度的研究是一种非常有效的测试方法。我们需要粘合剂和晶圆转移工艺来进行韦尔登。

Mikro-elektromechanische Systeme basieren überwiegend auf Silizium und sind folglich nur im Raumtemperaturbereich einsetzbar. Darüber hinaus ist für viele Anwendungen die Implementation von piezoelektrischen Systemkomponenten zur Realisierung aktorischer bzw. sensorischer Funktionen erforderlich. Konventionelle piezoelektrische Materialien wie Lithiumniobat und Quarz schränken die Einsatztemperatur auf 450°C ein. Langasit (La3Ga5Sio14) ein neues hochtemperaturtaugliches piezoelektrisches Material, ermöglicht dagegen völlig neue Funktionsprinzipien für mikro-elektromechanische Systeme. So könnten Hochtemperatur-Mikropumpen, Dosiersysteme und Sensorarrays hergestellt und beispielsweise im Bereich der Hochtemperaturgassensorik eingesetzt werden. Das Vorhaben hat daher zum Ziel, mikro-elektromechanische Systemkomponenten auf der Basis von Langasit für Einsatztemperaturen bis zu 900°C zu entwickeln. Die Funktion eines Arrays von Biegeschwingern soll am Ende des ersten Projektabschnittes demonstriert werden. Weiterhin ist die Realisierbarkeit von aktiven elektronischen Komponenten wie Vakuumdioden zu bewerten, so dass diese Elemente ggf. im zweiten Projektabschnitt implementiert werden können. An der TU-Clausthal ist innerhalb der AG Sensorik die Erarbeitung der erforderlichen materialwissenschaftlichen Grundlagen vorgesehen. Dabei stehen geeignete Dotierungen für Ätzstopps, die Untersuchung von Bondreaktionen und die Charakterisierung der Mikrostrukturen im Vordergrund. Am Lehrstuhl Mikrosystemtechnik der Universität Magdeburg sollen Entwurf und Realisierung der piezoelektrischen Strukturen erfolgen. Zur Untersuchung des Ätzverhaltens von Langasit sind beispielsweise Teststrukturen zu entwerfen und fluorhaltige Ätzmedien zu erproben. Weiterhin müssen Bond- und Wafertransferprozesse entwickelt werden.