Piezoelektrische mikro-elektromechanische Systemkomponenten und Sensorsysteme in Langasit für Hochtemperaturanwendungen

我的电气机械系统是从西里查到西里扎尔，然后再到那里去。您的位置：我也知道>教育/科学>教育/职业教育/科学/教育/科学/科学的理念。Konvenonelle Piektrische材料Wie Lithiumniobat和Quarz Schränken Die Einsatz Tematur Auf 450°C Ein。Langaite(La3Ga5Sio14)Ein Neues hochtematurtaugliches Panelektrisches材料，Ermöglicht dagegen völlig Neue Funktionspinzipien für mikro-Electrktrozipien System.因此，我们在此基础上提出了一种新的方法，即系统和传感器。Das Vorhaben Hat Daher zum Ziel，MICRO-ECTRECHRONIZINGRONMENTISHING OUF BASE VON LANGAITE Für EINSATZ TENTATURURN BIS ZU 900°C ZU entwickeln.他说：“这是一项非常重要的工作。”他说：“我不想再做任何事情了，所以我不会再做任何事情了。”我是Zweiten Projektabschnitt Implementiert Wenden Können。从地衣材料上看，它是一种内在的物质。他说：“这是一件非常重要的事情，我不知道该做什么，我的特点是什么？”我是Magdeburg Sollen Entwurf and Realisierung and Pterelektrischen Strukturen erfolgen大学的Lehrstuhl Mikrosystem Technik。这句话的意思是：“你的语言是什么，你的语言是什么？魏特欣Müssen邦德和晶片转移过程中的问题。

Mikro-elektromechanische Systeme basieren überwiegend auf Silizium und sind folglich nur im Raumtemperaturbereich einsetzbar. Darüber hinaus ist für viele Anwendungen die Implementation von piezoelektrischen Systemkomponenten zur Realisierung aktorischer bzw. sensorischer Funktionen erforderlich. Konventionelle piezoelektrische Materialien wie Lithiumniobat und Quarz schränken die Einsatztemperatur auf 450°C ein. Langasit (La3Ga5Sio14) ein neues hochtemperaturtaugliches piezoelektrisches Material, ermöglicht dagegen völlig neue Funktionsprinzipien für mikro-elektromechanische Systeme. So könnten Hochtemperatur-Mikropumpen, Dosiersysteme und Sensorarrays hergestellt und beispielsweise im Bereich der Hochtemperaturgassensorik eingesetzt werden. Das Vorhaben hat daher zum Ziel, mikro-elektromechanische Systemkomponenten auf der Basis von Langasit für Einsatztemperaturen bis zu 900°C zu entwickeln. Die Funktion eines Arrays von Biegeschwingern soll am Ende des ersten Projektabschnittes demonstriert werden. Weiterhin ist die Realisierbarkeit von aktiven elektronischen Komponenten wie Vakuumdioden zu bewerten, so dass diese Elemente ggf. im zweiten Projektabschnitt implementiert werden können. An der TU-Clausthal ist innerhalb der AG Sensorik die Erarbeitung der erforderlichen materialwissenschaftlichen Grundlagen vorgesehen. Dabei stehen geeignete Dotierungen für Ätzstopps, die Untersuchung von Bondreaktionen und die Charakterisierung der Mikrostrukturen im Vordergrund. Am Lehrstuhl Mikrosystemtechnik der Universität Magdeburg sollen Entwurf und Realisierung der piezoelektrischen Strukturen erfolgen. Zur Untersuchung des Ätzverhaltens von Langasit sind beispielsweise Teststrukturen zu entwerfen und fluorhaltige Ätzmedien zu erproben. Weiterhin müssen Bond- und Wafertransferprozesse entwickelt werden.