Piezoelektrische mikro-elektromechanische Systemkomponenten und Sensorsysteme in Langasit für Hochtemperaturanwendungen

基于微机电系统的硅和硅复合材料<s:1>复合材料合成系统。中国科学院院士、院士、院士、院士、院士、院士、院士等。传感器功能。传统压电材料：锂离子电池和石英schränken在450°C以下的温度下。Langasit (La3Ga5Sio14) in neues高温压电材料，ermöglicht dagegen völlig neue funcktionsprinzipien f<e:1> r微机电系统。所以könnten高温-微泵，剂量系统和传感器阵列，她的研究和研究在德国高温气体传感器研究中心进行。Das Vorhaben, dahaher zum Ziel，微型机电系统组件，基于语言基础（basic von Langasit fbr），温度为900°C。函数函数阵列的比格施维希分析与分析。weiterinist die Realisierbarkeit von aktiven elektronischen Komponenten and akuumdiden zu之间，所以通过diese element实现。im zweiten Projektabschnitt实现器werden können。1 .德国-德国-德国-德国-德国-德国-德国-德国-德国-德国。大贝steegeeignete Dotierungen f<e:1> r Ätzstopps, die Untersuchung von Bondreaktionen and die Charakterisierung der microstrukturen in Vordergrund。[m] [Lehrstuhl microsystemtechnik] [Universität]马格德堡sollen Entwurf基金实现压电结构。Zur Untersuchung de Ätzverhaltens von Langasit and beispielswees teststrkturen zentwerfen and fluorhaltige Ätzmedien zizerproben。Weiterhin msssen - Bond- und - wafer - transferprozesse entwickelt werden。

Mikro-elektromechanische Systeme basieren überwiegend auf Silizium und sind folglich nur im Raumtemperaturbereich einsetzbar. Darüber hinaus ist für viele Anwendungen die Implementation von piezoelektrischen Systemkomponenten zur Realisierung aktorischer bzw. sensorischer Funktionen erforderlich. Konventionelle piezoelektrische Materialien wie Lithiumniobat und Quarz schränken die Einsatztemperatur auf 450°C ein. Langasit (La3Ga5Sio14) ein neues hochtemperaturtaugliches piezoelektrisches Material, ermöglicht dagegen völlig neue Funktionsprinzipien für mikro-elektromechanische Systeme. So könnten Hochtemperatur-Mikropumpen, Dosiersysteme und Sensorarrays hergestellt und beispielsweise im Bereich der Hochtemperaturgassensorik eingesetzt werden. Das Vorhaben hat daher zum Ziel, mikro-elektromechanische Systemkomponenten auf der Basis von Langasit für Einsatztemperaturen bis zu 900°C zu entwickeln. Die Funktion eines Arrays von Biegeschwingern soll am Ende des ersten Projektabschnittes demonstriert werden. Weiterhin ist die Realisierbarkeit von aktiven elektronischen Komponenten wie Vakuumdioden zu bewerten, so dass diese Elemente ggf. im zweiten Projektabschnitt implementiert werden können. An der TU-Clausthal ist innerhalb der AG Sensorik die Erarbeitung der erforderlichen materialwissenschaftlichen Grundlagen vorgesehen. Dabei stehen geeignete Dotierungen für Ätzstopps, die Untersuchung von Bondreaktionen und die Charakterisierung der Mikrostrukturen im Vordergrund. Am Lehrstuhl Mikrosystemtechnik der Universität Magdeburg sollen Entwurf und Realisierung der piezoelektrischen Strukturen erfolgen. Zur Untersuchung des Ätzverhaltens von Langasit sind beispielsweise Teststrukturen zu entwerfen und fluorhaltige Ätzmedien zu erproben. Weiterhin müssen Bond- und Wafertransferprozesse entwickelt werden.