3D ion beam analysis for morphological and elementary characterisation of nano- and micro-dimensional building blocks and ion beam micro-machining

用于纳米和微米尺寸构件的形态和基本表征以及离子束微加工的 3D 离子束分析

• 批准号: 5413395
• 负责人: Professor Dr. Tilman Butz
• 金额: --
• 依托单位: Fakultät für Physik und Erdsystemwissenschaften
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5413395?language=en
• 关键词: 3D; ion; beam; analysis; morphological

Das Ziel des Projektes ist die Entwicklung einer vollständigen, quantitativen und hochempfindlichen Analytik zur 3D-Charakterisierung von nano- und mikrodimensionalen Bauelementen. Dafür wird RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry) unter Verwendung eines facettierten Teilchendetektors und eines euzentrischen Mikrogoniometers in Verbindung mit ergänzenden Methoden, wie STIM-T (Scanning Transmission Ion Micro-Tomography) mit Dichtekontrast und PIXE (Particle Induced X-Ray Emission) für elementspezifische Bilder und Stöchiometrie eingesetzt. Mittels maskenloser Strukturierung von Fotolackschichten auf Zuchtsubstraten und der gezielten Modifizierung der Oberflächeneigenschaften solcher Substrate durch Beschuss mit hoch- und mittelenergetischen Ionen wird das geordnete Wachstum von Arrays aus nanoskopischen Strukturelementen ermöglicht.

as Ziel des Projektes ist die Entwicklung einer vollständigen，定量和化学分析与三维特征分析与纳米和微观元素。在verindung mit ergänzenden Methoden中，在Verwendung eines facettierten teilchendtektors和eines euzentrischen microgoniometer中，在verindung mit ergänzenden Methoden中，在verindung mit STIM-T（扫描透射离子微层析成像）mit dichtecontrast和PIXE（粒子诱导x射线发射）<s:1> elementspezifische Bilder和Stöchiometrie eingesetzt中使用Rutherford后向散射光谱法。Mittels maskenloser struckturierung von Fotolackschichten auf zuchierten Modifizierung der Oberflächeneigenschaften solcher Substrate durch mitchuss mit hoch- and mittelenergetischen Ionen and das geordnete Wachstum von Arrays aunanoskopischen struckturelmenten ermöglicht。