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Development of a depth profiling system with nano meter order resolution for organic mass spectrometry

Development of a depth profiling system with nano meter order resolution for organic mass spectrometry
开发用于有机质谱分析的纳米级分辨率深度分析系统
批准号：
23710126
负责人：
NINOMIYA Satoshi
金额：
$3.0万
依托单位：
University of Yamanashi
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23710126/
关键词：
質量分析深さ方向分析帯電液滴エッチングエレクトロスプレー

项目摘要

项目成果

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In this study, we developed a depth profiling system with nano meter order resolution by using a charged droplet beam. In order to achieve it, we modified the charged droplet beam source, installed the objective lens and beam scanning electrodes, and made a program for automatic measurement. Practical thin films such as polymers and oxides were depth profiled by using the charged droplet beam as a primary probe.
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会议论文
Vacuum electrospray of volatile liquids assisted by infrared laser irradiation.
DOI： 10.1002/rcm.6181
发表时间： 2012-04
期刊： Rapid communications in mass spectrometry : RCM
影响因子： --
作者： [S. Ninomiya;L. Chen;Hiroaki Suzuki;Y. Sakai;K. Hiraoka]
通讯作者： S. Ninomiya;L. Chen;Hiroaki Suzuki;Y. Sakai;K. Hiraoka
XPS depth analysis of CuO by electrospray droplet impact
DOI： 10.1002/sia.4843
发表时间： 2012-08
期刊： Surface and Interface Analysis
影响因子： 1.7
作者： [Y. Sakai;S. Ninomiya;K. Hiraoka]
通讯作者： Y. Sakai;S. Ninomiya;K. Hiraoka
Feasibility study of vacuum-type electrospray droplet beam sources
真空型电喷雾液滴束源的可行性研究
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [Satoshi Ninomiya, Lee Chuin Chen, Yuji Sakai, Hiroaki Suzuki, Kenzo Hiraoka]
通讯作者： Kenzo Hiraoka
SIMS 用高輝度帯電液滴ビーム源の開発
SIMS高亮度带电液滴束源的开发
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [二宮啓, チェンリーチュイン, 境悠治, 鈴木浩明, 平岡賢三]
通讯作者： 平岡賢三
共 11 条
    High performance secondary ion mass spectrometry using vacuum-type electrospray droplet ion beams
    • 批准号：
      17K05119
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      NINOMIYA Satoshi
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    High resolution 3D imaging with vacuum electrospray droplet ion beams
    • 批准号：
      26505004
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.16万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      NINOMIYA Satoshi
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    海外基金