Development of a depth profiling system with nano meter order resolution for organic mass spectrometry

开发用于有机质谱分析的纳米级分辨率深度分析系统

• 批准号: 23710126
• 负责人: NINOMIYA Satoshi
• 金额: $ 3万
• 依托单位: University of Yamanashi
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23710126/
• 关键词: 質量分析; 深さ方向分析; 帯電液滴; エッチング; エレクトロスプレー

In this study, we developed a depth profiling system with nano meter order resolution by using a charged droplet beam. In order to achieve it, we modified the charged droplet beam source, installed the objective lens and beam scanning electrodes, and made a program for automatic measurement. Practical thin films such as polymers and oxides were depth profiled by using the charged droplet beam as a primary probe.

在这项研究中，我们通过使用带电的液滴束开发了具有纳米仪订单分辨率的深度分析系统。为了实现它，我们修改了带电的液滴束源，安装了客观镜头和光束扫描电极，并制定了一个用于自动测量的程序。通过使用带电的液滴束作为主要探针，将实用的薄膜（例如聚合物和氧化物）进行了深度。

项目成果

XPS depth analysis of CuO by electrospray droplet impact

• DOI: 10.1002/sia.4843
• 发表时间: 2012-08
• 期刊: Surface and Interface Analysis
• 影响因子: 1.7
• 作者: Y. Sakai;S. Ninomiya;K. Hiraoka

Feasibility study of vacuum-type electrospray droplet beam sources

真空型电喷雾液滴束源的可行性研究

• 发表时间: 2012
• 作者: Satoshi Ninomiya;Lee Chuin Chen;Yuji Sakai;Hiroaki Suzuki;Kenzo Hiraoka
• 通讯作者: Kenzo Hiraoka

SIMS 用高輝度帯電液滴ビーム源の開発

SIMS高亮度带电液滴束源的开发

• 发表时间: 2012
• 作者: 二宮啓;チェンリーチュイン;境悠治;鈴木浩明;平岡賢三
• 通讯作者: 平岡賢三

山梨大学 研究者総覧

山梨大学研究员名单

デュアルレーザ支援真空エレクトロスプレーの特性

双激光辅助真空电喷雾的特点

• 发表时间: 2012
• 作者: 二宮啓;チェンリーチュイン;境悠治;平岡賢三
• 通讯作者: 平岡賢三