Interaction dynamics of plasma fluctuations and nano interface properties

等离子体波动与纳米界面特性的相互作用动力学

• 批准号: 23740408
• 负责人: KAMATAKI KUNIHIRO
• 金额: $ 3万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23740408/
• 关键词: プラズマ; 時空間構造; ナノ粒子成長; 相互作用; 揺らぎ; 構造解析; 二次電池; 高速度カメラ; プラズマ応用; 時空間解析; ナノ界面; ナノ粒子サイズの二次元分布; ナノ粒子密度の二次元分布; ナノ粒子のサイズ分布

Studies focused on reducing the dimensions of semiconductor structures1) to the nanometer regime have led to a fascinating class of novel materials that exhibit quantum confinement characteristics. For faster development of fabrication methods for nanomaterials, the effects of plasma fluctuations on the growth of nanoparticles in reactive plasmas must be taken into account because plasma fluctuations affect nanoparticles in dust plasmas. Therefore, I have investigated the effects of plasma fluctuation on the nano-interface properties. Nanoparticles grow more slowly for plasma fluctucations, which causes the density of nanoparticles to increase and their size to decrease. By the developed in-situ method, I have for the first time been able to determine the size distribution of nano-particles generated in a reactive plasma without ex-situ measurements.

致力于将半导体结构的尺寸减小到纳米范围的研究已经产生了一类具有量子限制特性的迷人的新型材料。为了更快地发展纳米材料的制造方法，必须考虑等离子体波动对反应等离子体中纳米颗粒生长的影响，因为等离子体波动会影响尘埃等离子体中的纳米颗粒。因此，我研究了等离子体涨落对纳米界面性质的影响。等离子体波动使纳米颗粒生长更慢，这导致纳米颗粒的密度增加，尺寸减小。通过开发的原位方法，我第一次能够确定在反应等离子体中产生的纳米颗粒的尺寸分布，而无需非原位测量。

项目成果

Impacts of Plasma Fluctuations in Reactive Plasmas

反应等离子体中等离子体波动的影响

• 发表时间: 2011
• 作者: K. Kamataki;M. Shiratani;T. Ishihara;H. Nagano;Y. Morita;K. Kuwahara;G. Uchida;H. Seo;N. Itagaki and K. Koga;K. Kamataki
• 通讯作者: K. Kamataki

High Capacity Li Ion Battery Anodes Using Silicon Carbide Nanoparticles Produced by Double Multi-Hollow Discharge Plasma CVD

双多重空心放电等离子体CVD制备碳化硅纳米颗粒的高容量锂离子电池负极

• 发表时间: 2012
• 作者: K. Kamataki;M. Shiratani;T. Ishihara;H. Nagano;Y. Morita;K. Kuwahara;G. Uchida;H. Seo;N. Itagaki and K. Koga
• 通讯作者: N. Itagaki and K. Koga

プラズマプロセスにおける揺らぎのダイナミックス

等离子体过程中的波动动力学

• 发表时间: 2012
• 作者: 鎌滝晋礼;森田康彦;古閑一憲;内田儀一郎;板垣菜穂;Hyunwoong Seo;白谷正治
• 通讯作者: 白谷正治

Spatio-Temporal Structure of Growth of Nano-Particles with/without Amplitude Modulation in Reactive Plasmas

反应等离子体中具有/不具有振幅调制的纳米粒子生长的时空结构

• 发表时间: 2013
• 作者: KUNIHIRO KAMATAKI;YASUHIKO MORITA,KAZUNORI KOGA;GIICHIRO UCHIDA;NAHO ITAGAKI;HYUNWOONG SEO AND MASAHARU SHIRATANI
• 通讯作者: HYUNWOONG SEO AND MASAHARU SHIRATANI