Study of dimensional measurement of micro-hole by using a high-sensitivity probing system with a nanopipette ball probe

利用纳米移液器球探针高灵敏度探测系统进行微孔尺寸测量的研究

• 批准号: 24760097
• 负责人: ITO So
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24760097/
• 关键词: 計測工学; ナノメトロロジー; 寸法計測; シェアフォース; プロービング; スタイラス; ナノピペット; 微小球; 形状計測; 接触検出; マイクロノズル; マイクロスリット; 全方位検出

A new type probing system has been developed for the dimansional measurement of micro-holes. The stylus used in this study is consisted of a glass nanopipette and micro glass sphere. By attaching the micro-sphere at the edge of the glass nanopipette, the stylus tip with the diameter of less than 10 micrometer can maintain the uniform shape from all directions.The contact detection between the stylus tip and the measuring surface can be realized by utilizing the method of shear-force detection which employ the interaction force owing to the meniscus layer. It has been verified that the developed probing system has the ability to measure the dimensional measurement with nanometric resolution and sub-micrometric measurement accuracy by using the nanopipette ball stylus.

已经开发了一种新型探测系统，用于微孔的二键测量。这项研究中使用的手写笔由玻璃纳米板和微玻璃球体组成。 通过在玻璃纳米夹的边缘附着微球，直径小于10千分尺的手写笔尖端可以从各个方向保持均匀的形状。通过使用剪切力检测方法，可以实现使用剪切力的方法，从而实现了手etlus尖端和测量表面之间的接触率检测。已经验证的是，开发的探测系统具有使用纳米副本球手雷仪，可以通过纳米分辨率和亚微米测量精度来测量尺寸测量。

项目成果

微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究―第3報周波数変調検出による接触検出の高感度化―

使用带有微球的纳米移液管探针进行形状测量的研究 - 第三份报告：通过调频检测提高接触检测的灵敏度 -

• 发表时间: 2013
• 作者: So Ito;Issei Kodama;Hirotaka Kikuchi Wei Gao;伊東聡，小玉一成，高偉;伊東聡,小玉一成,高偉
• 通讯作者: 伊東聡,小玉一成,高偉

Characterization of Electrostatic Force for Scanning Electrostatic Force Microscopy of Micro-structured Surface

微结构表面扫描静电力显微镜的静电力表征

• DOI: 10.1007/s12541-013-0208-6
• 发表时间: 2013
• 期刊: International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
• 影响因子: 1.9
• 作者: Zhigang Jia;So Ito;Keiichiro Hosobuchi;Shigeaki Goto;Yuki Shimizu;Gaofa He;Wei Gao
• 通讯作者: Wei Gao

微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究 ―第3報 周波数変調検出による接触検出の高感度化―

使用带有微球的纳米移液管探针进行形状测量的研究 - 第三次报告：通过调频检测实现接触检测的高灵敏度 -

• 发表时间: 2013
• 作者: So Ito;Issei Kodama and Wei Gao;伊東聡，小玉一成，高偉
• 通讯作者: 伊東聡，小玉一成，高偉

微小球付きナノピペットプローブを用いた形状計測に関する研究―第2報形状計測システムの開発と評価―

使用带有微球的纳米移液器探针进行形状测量的研究 - 形状测量系统的开发和评估，第 2 部分 -

• 发表时间: 2013
• 作者: Yoshida;K.;Ishii;A.;Tadano;Y.;伊東聡,小玉一成,高偉
• 通讯作者: 伊東聡,小玉一成,高偉

Improvement of an air-bearing displacement sensor with nanometric resolution

纳米分辨率空气轴承位移传感器的改进

• DOI: 10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.945
• 发表时间: 2012
• 期刊: Key Engineering Materials
• 作者: So Ito;Kang-Won Lee;Yuki Shimizu;Wei Gao
• 通讯作者: Wei Gao