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Study of three dimensional measurement by utilizing a high-sensitive microprobe based on the micro liquid pillar

Study of three dimensional measurement by utilizing a high-sensitive microprobe based on the micro liquid pillar
基于微液柱的高灵敏微探针三维测量研究
批准号：
26820018
负责人：
Ito So
金额：
$2.5万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26820018/
关键词：
計測工学超精密計測表面・界面物性マイクロCMM寸法計測マイクロスリットナノメトロロジーマイクロプローブ寸法測定マイクロノズル

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期刊：
影响因子： --
作者： [So Ito, Yuan-Liu Chen, Yuki Shimizu, Hirotaka Kikuchi, Wei Gao, Kazuhiko Takahashi, Toshihiko Kanayama, Kunmei Arakawa, Atsushi Hayashi, 伊東聡，菊地浩貴，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦]
通讯作者： 伊東聡，菊地浩貴，陳遠流，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
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通讯作者： 伊東聡，小玉一成，菊地浩貴，高偉
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作者： [S. Ito;Yuan-Liu Chen;Y. Shimizu;Hirotaka Kikuchi;W. Gao;Takahashi Kazuhiko;Kanayama Toshihiko;K. Arakawa;Atsushi Hayashi]
通讯作者： S. Ito;Yuan-Liu Chen;Y. Shimizu;Hirotaka Kikuchi;W. Gao;Takahashi Kazuhiko;Kanayama Toshihiko;K. Arakawa;Atsushi Hayashi
共 11 条
    In-situ calibration of microprobe with nanometric accuracy using a rotating reference sphere
    • 批准号：
      20K04195
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Ito So
    • 依托单位：
      Toyama Prefectural University
    Absolute measurement of long micro slit width by non-contact type twin micro-probing systems with high speed scanning of twin micro probe and real time space calibration
    海外基金