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SI traceble length measurement of lattice distances by a transmission electron microscope through the intermediary of the metrological atomis force micrscope

SI traceble length measurement of lattice distances by a transmission electron microscope through the intermediary of the metrological atomis force micrscope
通过计量原子力显微镜，通过透射电子显微镜对晶格距离进行 SI 可溯源长度测量
批准号：
20K04511
负责人：
Kobayashi Keita
金额：
$2.75万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K04511/
关键词：
透過電子顕微鏡原子間力顕微鏡ナノメトロロジー倍率校正シリコン試料調製測長不確かさ試料加工SIトレーサビリティー

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DOI： --
发表时间： 2023
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： 山本和弘
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发表时间： 2022
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影响因子： --
作者： [Misumi Ichiko, Kizu Ryosuke, Itoh Hiroshi, Kumagai Kazuhiro, Kobayashi Keita, Sigehuzi Tomoo]
通讯作者： Sigehuzi Tomoo
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