SI traceble length measurement of lattice distances by a transmission electron microscope through the intermediary of the metrological atomis force micrscope
SI traceble length measurement of lattice distances by a transmission electron microscope through the intermediary of the metrological atomis force micrscope
通过计量原子力显微镜，通过透射电子显微镜对晶格距离进行 SI 可溯源长度测量
批准号：
20K04511
负责人：
Kobayashi Keita
金额：
$2.75万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
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倍率校正標準としてのSi 格子面間隔距離の試料条件に依存した変動の実験的評価
作为放大校准标准的样品条件依赖性硅晶格间距变化的实验评估
作为放大校准标准的样品条件依赖性硅晶格间距变化的实验评估
DOI：
--
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
作者：
[小林慶太, 三隅伊知子, 山本和弘]
通讯作者：
山本和弘
Effect of specimen processing for transmission electron microscopy on lattice spacing variation in Si specimens
透射电子显微镜样品处理对硅样品晶格间距变化的影响
透射电子显微镜样品处理对硅样品晶格间距变化的影响
DOI：
10.1016/j.ultramic.2022.113537
发表时间：
2022
期刊：
Ultramicroscopy
影响因子：
2.2
作者：
[Kobayashi Keita, Misumi Ichiko, Yamamoto Kazuhiro]
通讯作者：
Yamamoto Kazuhiro
DOI：
10.11499/sicejl.60.608
发表时间：
2021
期刊：
Journal of The Society of Instrument and Control Engineers
影响因子：
--
作者：
[Wandale Steven, Ichige Koichi, 井上智貴，木村共孝，程俊, 小林 慶太]
通讯作者：
小林 慶太
Experimental evaluation of uncertainty in sub-nanometer metrology using transmission electron microscopy due to magnification variation
使用透射电子显微镜对亚纳米计量中由于放大倍数变化造成的不确定性进行实验评估
使用透射电子显微镜对亚纳米计量中由于放大倍数变化造成的不确定性进行实验评估
DOI：
10.1088/1361-6501/ac03e4
发表时间：
2021
期刊：
Measurement Science and Technology
影响因子：
2.4
作者：
[Kobayashi Keita, Misumi Ichiko, Yamamoto Kazuhiro]
通讯作者：
Yamamoto Kazuhiro
Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan
日本国立计量研究所利用原子力显微镜、透射电子显微镜、扫描电子显微镜进行纳米尺寸标准的研究活动
日本国立计量研究所利用原子力显微镜、透射电子显微镜、扫描电子显微镜进行纳米尺寸标准的研究活动
DOI：
10.1007/s41871-021-00119-1
发表时间：
2021
期刊：
Nanomanufacturing and Metrology
影响因子：
--
作者：
[Misumi Ichiko, Kizu Ryosuke, Itoh Hiroshi, Kumagai Kazuhiro, Kobayashi Keita, Sigehuzi Tomoo]
通讯作者：
Sigehuzi Tomoo
共 8 条
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