On-Machine Polishing Phenomena Observation Apparatus Development and Its Phenomenon Analysis
On-Machine Polishing Phenomena Observation Apparatus Development and Its Phenomenon Analysis
机上抛光现象观察装置研制及其现象分析
批准号：
25870514
负责人：
KHAJORNRUNGRUANG Panart
金额：
$2.75万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2015-03-31
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Study on sub 50 nm sized particle dynamic observation in water using evanescent field with mobile apparatus
移动装置倏逝场水中亚50 nm颗粒动态观测研究
移动装置倏逝场水中亚50 nm颗粒动态观测研究
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Panart Khajornrungruang, Patrick J. Dean, S. V. Babu]
通讯作者：
S. V. Babu
Study on Dynamic Observation of sub-50 nm sized particles in Water Using Evanescent Field with a Compact and Mobile Apparatus
利用倏逝场和紧凑型移动设备动态观测水中 50 nm 以下颗粒的研究
利用倏逝场和紧凑型移动设备动态观测水中 50 nm 以下颗粒的研究
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
Proceedings of Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ISBN: 978-1-887706-66-7
影响因子：
--
作者：
[Khajornrungruang, P.; Dean, P. J.; Babu, S. V.]
通讯作者：
S. V.
Nano-sized Particles Detection and Analysis in Solution using Evanescent Field
使用倏逝场对溶液中的纳米颗粒进行检测和分析
使用倏逝场对溶液中的纳米颗粒进行检测和分析
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Panart Khajornrungruang, Sevim Korkmas, S. V. Babu]
通讯作者：
S. V. Babu
エバネッセント光を用いたナノ微粒子観察によるポリシング加工の現象解析
利用倏逝光观察纳米粒子来分析抛光加工现象
利用倏逝光观察纳米粒子来分析抛光加工现象
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Khajornrungruang, P.; Dean, P. J.; Babu, S. V., 今井祐太，鈴木恵友，カチョーンルンルアン パナート]
通讯作者：
今井祐太，鈴木恵友，カチョーンルンルアン パナート
Study on Dynamic Observation of sub-50 nm sized particles in Water Using Evanescent Field with a Compact and Mobile Apparatus（口頭）
使用紧凑型移动装置利用倏逝场动态观测水中 50 nm 以下颗粒的研究（口头）
使用紧凑型移动装置利用倏逝场动态观测水中 50 nm 以下颗粒的研究（口头）
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Panart Khajornrungruang, Patrick J. Dean, S. V. Babu]
通讯作者：
S. V. Babu
Study on electro plating and etching for metal interconnect in integrated circuit assisted with ArF excimer laser
-
批准号：20760086
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.0万
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财政年份：2008
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负责人：KHAJORNRUNGRUANG Panart
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依托单位：
海外基金