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Development of high-mobility strained Si/SiGe/Si(110) heterostructure by suppression of dislocation generation

Development of high-mobility strained Si/SiGe/Si(110) heterostructure by suppression of dislocation generation
通过抑制位错产生开发高迁移率应变 Si/SiGe/Si(110) 异质结构
批准号：
15K04661
负责人：
ARIMOTO Keisuke
金额：
$3.24万
依托单位：
University of Yamanashi
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15K04661/
关键词：
歪みシリコン結晶欠陥ヘテロ構造MOSFET

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离子注入对Si(110)衬底上SiGe薄膜应变弛豫的影响
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [加藤まどか, 村上太陽, 有元圭介, 山中淳二, 中川清和, 澤野憲太郎]
通讯作者： 澤野憲太郎
高移動度トランジスタ実現に向けた４族半導体の歪みエンジニアリング
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DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [Junji Yamanaka, Chiaya Yamamoto, Mai Shirakura, Kei Sato, Takane Yamada, Kosuke O. Hara, Keisuke Arimoto and Kiyokazu Nakagawa, 有元圭介]
通讯作者： 有元圭介
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发表时间： 2017
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影响因子： --
作者： [Keisuke Arimoto, Hiroki Nakazawa Shohei Mitsui, Naoto Utsuyama, Junji Yamanaka, Kosuke O. Hara, Noritaka Usami, Kiyokazu Nakagawa, 山中 淳二，山本 千綾，白倉 麻依，佐藤 圭，山田 崇峰，原 康祐，有元 圭介，中川 清和]
通讯作者： 山中 淳二，山本 千綾，白倉 麻依，佐藤 圭，山田 崇峰，原 康祐，有元 圭介，中川 清和
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DOI： 10.4236/msce.2018.61004
发表时间： 2018
期刊： Journal of Materials Science and Chemical Engineering
影响因子： --
作者： [Junji Yamanaka, Mai Shirakura, Chiaya Yamamoto, Naoto Utsuyama, Kei Sato, Takane Yamada, Kosuke O. Hara, Keisuke Arimoto, Kiyokazu Nakagawa]
通讯作者： Kiyokazu Nakagawa
共 15 条
    Control of defects and surface morphology on strained Si/SiGe/Si(110) structure using the ion implantation method
    • 批准号：
      18K04229
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      ARIMOTO Keisuke
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    Studies on defect formation process and electrical properties of Silicon-Carbon strained heterostructures
    • 批准号：
      23760011
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.33万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      ARIMOTO Keisuke
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    海外基金