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Control of defects and surface morphology on strained Si/SiGe/Si(110) structure using the ion implantation method

Control of defects and surface morphology on strained Si/SiGe/Si(110) structure using the ion implantation method
使用离子注入方法控制应变 Si/SiGe/Si(110) 结构的缺陷和表面形貌
批准号：
18K04229
负责人：
ARIMOTO Keisuke
金额：
$2.83万
依托单位：
University of Yamanashi
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2021-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18K04229/
关键词：
半導体結晶電子デバイス結晶欠陥キャリア移動度歪みシリコン高移動度トランジスターシリコンゲルマニウム

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クリスタル科学研究センター（研究紹介）
晶体科学研究中心（研究简介）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
有元・原研究室ホームページ
有本原实验室主页
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
歪みSi/緩和SiGe/Si(110)ヘテロ構造p-MOSFETにおける電界効果移動度の歪みSi膜厚依存性
应变 Si/松弛 SiGe/Si(110) 异质结构 p-MOSFET 中场效应迁移率对应变 Si 膜厚度的依赖性
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [藤澤 泰輔, 各川 敦史, 浪内 大地, 斎藤 慎吾, 佐野 雄一, 泉 大輔, 山中 淳二, 原 康祐, 澤野 憲太郎, 中川 清和, 有元 圭介]
通讯作者： 有元 圭介
Evaluation of Crystal Lattice Rotation around a Stress-Induced Twin in a Step-Graded SiGe / Si(110) Using STEM Moiré Observation and its Image Analysis
使用 STEM 莫尔条纹评估阶梯梯度 SiGe / Si(110) 中应力诱导孪晶周围的晶格旋转
DOI： 10.1017/s1431927619001946
发表时间： 2019
期刊： Microscopy and Microanalysis
影响因子： 2.8
作者： [Junji Yamanaka, Chiaya Yamamoto, Mai Shirakura, Kosuke O. Hara, Keisuke Arimoto, Kiyokazu Nakagawa, Akimitsu Ishizuka, and Kazuo Ishizuka]
通讯作者： and Kazuo Ishizuka
共 26 条
    Development of high-mobility strained Si/SiGe/Si(110) heterostructure by suppression of dislocation generation
    • 批准号：
      15K04661
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      ARIMOTO Keisuke
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    Studies on defect formation process and electrical properties of Silicon-Carbon strained heterostructures
    • 批准号：
      23760011
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.33万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      ARIMOTO Keisuke
    • 依托单位：
      University of Yamanashi
    海外基金