A Proposal on the Microfabrication Method of Fluorine Polymer and Its Application to Microfluidic Devices
A Proposal on the Microfabrication Method of Fluorine Polymer and Its Application to Microfluidic Devices
氟聚合物微加工方法及其在微流控器件中的应用的提出
批准号：
15K05749
负责人：
Nabesawa Hirofumi
金额：
$3.0万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
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Polymer Micro-Fabrication and Its Application to Biomicrofluidic Devices
聚合物微加工及其在生物微流控器件中的应用
聚合物微加工及其在生物微流控器件中的应用
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi Nabesawa, Masumi Yamada, Minoru Seki]
通讯作者：
Minoru Seki
反応性イオンエッチング法によるポリマーの微細加工と
使用反应离子蚀刻方法微加工聚合物
使用反应离子蚀刻方法微加工聚合物
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi NABESAWA, Takeshi HITOBO, Toyohisa ASAJI, Takashi ABE, Minoru SEKI, 吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋, 鍋澤浩文]
通讯作者：
鍋澤浩文
マイクロ流体デバイスおよびそのシステムの作製と応用
微流控器件及其系统的制备与应用
微流控器件及其系统的制备与应用
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi Nabesawa, Masumi Yamada, Minoru Seki, 安井学,金子智,黒内正仁,小沢武,伊藤寛明,荒井政大, 吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋, 案納響平, 関 実]
通讯作者：
関 実
Microstructure Formation on Polytetrafluoroethylene (PTFE) and Perfluoroalkoxy (PFA) Bulk Plates by a Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching System
通过磁控管增强反应离子蚀刻系统在聚四氟乙烯 (PTFE) 和全氟烷氧基 (PFA) 块板上形成微结构
通过磁控管增强反应离子蚀刻系统在聚四氟乙烯 (PTFE) 和全氟烷氧基 (PFA) 块板上形成微结构
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
Journal of the Vacuum Society of Japan
影响因子：
--
作者：
[Hirofumi NABESAWA, Takeshi HITOBO, Toyohisa ASAJI, Takashi ABE, Minoru SEKI]
通讯作者：
Minoru SEKI
Reactive ion etching of fluorocarbon polymer using stencil mask
使用模板掩模对氟碳聚合物进行反应离子蚀刻
使用模板掩模对氟碳聚合物进行反应离子蚀刻
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Masato MIZUOCHI, Hiroki SHIMADA, Hirofumi NABESAWA, Minoru SEKI]
通讯作者：
Minoru SEKI
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