A Proposal on the Microfabrication Method of Fluorine Polymer and Its Application to Microfluidic Devices

氟聚合物微加工方法及其在微流控器件中的应用的提出

• 批准号: 15K05749
• 负责人: Nabesawa Hirofumi
• 金额: $ 3万
• 依托单位: Toyama Industrial Technology Center,
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2015-04-01 至 2018-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15K05749/
• 关键词: プラズマ加工; マイクロ・ナノデバイス; フッ素樹脂; 反応性イオンエッチング; マイクロ流体デバイス

项目成果

Polymer Micro-Fabrication and Its Application to Biomicrofluidic Devices

聚合物微加工及其在生物微流控器件中的应用

• 发表时间: 2016
• 作者: Hirofumi Nabesawa;Masumi Yamada;Minoru Seki
• 通讯作者: Minoru Seki

反応性イオンエッチング法によるポリマーの微細加工と

使用反应离子蚀刻方法微加工聚合物

• 发表时间: 2017
• 作者: Hirofumi NABESAWA;Takeshi HITOBO;Toyohisa ASAJI;Takashi ABE;Minoru SEKI;吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋;鍋澤浩文
• 通讯作者: 鍋澤浩文

マイクロ流体デバイスおよびそのシステムの作製と応用

微流控器件及其系统的制备与应用

• 发表时间: 2015
• 作者: Hirofumi Nabesawa;Masumi Yamada;Minoru Seki;安井学,金子智,黒内正仁,小沢武,伊藤寛明,荒井政大;吉冨 健一郎,多田 一生,宇根 篤暢,餅田 正秋;案納響平;関 実
• 通讯作者: 関 実

Microstructure Formation on Polytetrafluoroethylene (PTFE) and Perfluoroalkoxy (PFA) Bulk Plates by a Magnetron Enhanced Reactive Ion Etching System

通过磁控管增强反应离子蚀刻系统在聚四氟乙烯 (PTFE) 和全氟烷氧基 (PFA) 块板上形成微结构

• 发表时间: 2017
• 期刊: Journal of the Vacuum Society of Japan
• 作者: Hirofumi NABESAWA;Takeshi HITOBO;Toyohisa ASAJI;Takashi ABE;Minoru SEKI
• 通讯作者: Minoru SEKI

Reactive ion etching of fluorocarbon polymer using stencil mask

使用模板掩模对氟碳聚合物进行反应离子蚀刻

• 发表时间: 2015
• 作者: Masato MIZUOCHI;Hiroki SHIMADA;Hirofumi NABESAWA;Minoru SEKI
• 通讯作者: Minoru SEKI