Development of Ultra Precise X-Y Stage with Air Bearing Realizing Non-Contact Drive and Its Control
Development of Ultra Precise X-Y Stage with Air Bearing Realizing Non-Contact Drive and Its Control
实现非接触驱动的空气轴承超精密X-Y工作台的研制及其控制
批准号：
15K05911
负责人：
FUJITA TOSHINORI
金额：
$3.08万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
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サーボ弁の動特性を考慮した空気圧サーボシステムの制御
考虑伺服阀动态特性的气动伺服系统控制
考虑伺服阀动态特性的气动伺服系统控制
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[直井誠, 畠山径, 藤田壽憲, Ryota DATE，Toshinori Fujita and Kenji SAITHO, 藤田壽憲，畠山 径]
通讯作者：
藤田壽憲，畠山 径
管路を有する容器内圧力のH∞制御
H∞ 通过管道控制容器内的压力
H∞ 通过管道控制容器内的压力
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[直井誠, 畠山径, 藤田壽憲, Ryota DATE，Toshinori Fujita and Kenji SAITHO, 藤田壽憲，畠山 径, 伊達亮汰,藤田壽憲,斉藤健二]
通讯作者：
伊達亮汰,藤田壽憲,斉藤健二
静圧軸受エアステージ駆動のためのサーボ弁特性を考慮した目標軌道生成法
考虑伺服阀特性的静压轴承气级驱动目标轨迹生成方法
考虑伺服阀特性的静压轴承气级驱动目标轨迹生成方法
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[金澤 直弥，藤田壽憲, 直井誠，藤田壽憲]
通讯作者：
直井誠，藤田壽憲
管路の有限要素モデルに基づいた空気圧容器の圧力制御
基于管道有限元模型的气动容器压力控制
基于管道有限元模型的气动容器压力控制
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[金澤 直弥，藤田壽憲, 直井誠，藤田壽憲, 直井 誠，杉山洋樹，藤田 壽憲, 杉山洋樹，藤田壽憲, 中澤友宏，下川利樹，藤田壽憲]
通讯作者：
中澤友宏，下川利樹，藤田壽憲
サーボ弁の動特性を考慮した空気圧駆動システムのＨ∞制御
考虑伺服阀动态特性的气动驱动系统H∞控制
考虑伺服阀动态特性的气动驱动系统H∞控制
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[金澤 直弥，藤田壽憲]
通讯作者：
金澤 直弥，藤田壽憲
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