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Precise measurement of optical constants of thin films in soft X-ray region
软X射线区域薄膜光学常数的精确测量
基本信息
- 批准号：15H03592
- 负责人：
- 金额：$ 8.65万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2015
- 资助国家：日本
- 起止时间：2015-04-01 至 2018-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
EUV反射率計用のMo/Siワイドバンド多層膜偏光子の開発,
开发用于EUV反射计的Mo/Si宽带多层膜偏光片，
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：渡辺雅紀;井口晴貴;原田哲男;渡邊健夫
- 通讯作者：渡邊健夫
Actual defect observation results of an extreme-ultraviolet blank mask by coherent diffraction imaging
- DOI：10.7567/apex.9.035202
- 发表时间：2016-03-01
- 期刊：
- 影响因子：2.3
- 作者：Harada, Tetsuo;Hashimoto, Hiraku;Watanabe, Takeo
- 通讯作者：Watanabe, Takeo
Absorption Coefficient Measurement Advanced Method of EUV Resist by Direct-Resist Coating on a Photodiode
通过在光电二极管上直接涂覆光刻胶来测量 EUV 光刻胶吸收系数的先进方法
- DOI：10.2494/photopolymer.30.87
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：S. Niihara;D. Mamezaki;M. Watanabe;T. Harada;and T. Watanabe
- 通讯作者：and T. Watanabe
コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡を用いたマスク検査装置の開発
相干散射显微镜掩模检测装置的开发
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：新原 章汰;豆﨑 大輝;渡辺 雅紀;原田 哲男;渡邊 健夫;G. Yoshikawa;木下博雄
- 通讯作者：木下博雄
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- 作者：
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Kinoshita Hiroo其他文献
Laser-induced damage thresholds and mechanism of silica glass induced by ultra-short soft x-ray laser pulse irradiation
超短软X射线激光脉冲辐照石英玻璃激光损伤阈值及机理
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- 影响因子：14.7
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Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation
超高通量极紫外 (EUV) 脉冲照射下剂量率对光刻胶灵敏度的依赖性
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- 影响因子：2.3
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Kozawa Takahiro
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等离激元诱导热载流子化学
- DOI：
- 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Nagata Yutaka;Harada Tetsuo;Watanabe Takeo;Kinoshita Hiroo;Midorikawa Katsumi;T. Teranishi - 通讯作者：
T. Teranishi
Kinoshita Hiroo的其他文献
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相似海外基金
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$ 8.65万 - 项目类别：
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开发无机室温键合技术，实现高透光率和可调折射率的键合界面
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20H02612 - 财政年份：2020
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$ 8.65万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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无汞薄膜式紫外光源在低透光率废水处理中的应用。
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19K12390 - 财政年份：2019
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通过纳米接触的原位观察和噪声分析动态测量电导和透射率
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15K13269 - 财政年份：2015
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$ 8.65万 - 项目类别：
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新型远距离透光心肺监测系统
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480718-2015 - 财政年份：2015
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