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Leveling nanometer-scale mechanical properties of photopolymerized monomer ultrathin films

Leveling nanometer-scale mechanical properties of photopolymerized monomer ultrathin films
光聚合单体超薄膜的纳米级力学性能均化
批准号：
15H03860
负责人：
Nakagawa Masaru
金额：
$11.07万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03860/
关键词：
光ラジカル重合超薄膜ナノギャップナノ加工ミクロゲル原子間力顕微鏡ドライエッチングナノインプリント技術ナノ材料高分子合成光化学表面・海面物性表面・界面物性マイクロ・ナノデバイス表面電位材料加工・処理微細加工

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Elemental depth profiles and plasma etching rates of positive-tone electron beam resists after sequential infiltration synthesis of alumina
连续渗透合成氧化铝后正电子束抗蚀剂的元素深度分布和等离子体蚀刻速率
DOI： --
发表时间： 2018
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [Yuki Ozaki, Shunya Ito, Nobuya Hiroshiba, Takahiro Nakamura, and Masaru Nakagawa]
通讯作者： and Masaru Nakagawa
原原子間力顕微鏡で観察される膜厚sub-100 nmでの光硬化樹脂薄膜における表面弾性率の膜厚依存性
用原始原子力显微镜观察亚100 nm厚度的光固化树脂薄膜表面弹性模量的厚度依赖性
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [矢野 春菜, 久保祥一,中川勝, 藤浪想, 中嶋健]
通讯作者： 中嶋健
重合性液体のシリカナノ空間中での流動性と一桁ナノ造形
二氧化硅纳米空间中可聚合液体的流动性和个位数纳米加工
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [伊東 駿也, 粕谷 素洋, 栗原 和枝, 中川 勝]
通讯作者： 中川 勝
ポジ型電子線レジストの各プロセスにおける分子レベルでの考察
正电子束光刻胶各工序从分子层面考虑
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [尾﨑 優貴, 伊東 駿也, 中村 貴宏, 中川 勝]
通讯作者： 中川 勝
共 77 条
    Comprehensive research of group management accounting in global environment
    • 批准号：
      20H01559
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.57万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Nakagawa Masaru
    • 依托单位：
      Doshisha University
    Comprehensive Research with Global Consolidation Accounting
    • 批准号：
      17H02583
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.73万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Nakagawa Masaru
    • 依托单位：
      Doshisha University
    Research for control package in managing with overseas companies
    • 批准号：
      26285104
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.48万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Nakagawa Masaru
    • 依托单位：
      Doshisha University
    国内基金
    海外基金
    电子封装用聚酰亚胺超薄膜玻璃化转变及协同运动的表征与微观机制
    • 批准号：
      Z25E030022
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2025
    • 负责人：
      左彪
    • 依托单位：
      浙江理工大学
    BiFeO3超薄膜铁电性的调控及物理机制研究
    • 批准号：
      12304122
    • 项目类别：
      青年科学基金项目
    • 资助金额：
      30万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      姚小康
    • 依托单位：
      辽宁大学
    超薄膜中片晶生长边界层纳米黏弹特性及对结晶形态的影响
    • 批准号：
      52373026
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      52万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      张彬
    • 依托单位：
      郑州大学
    精准构筑二维共价有机框架超薄膜SERS基底用于结构相似有机化合物的特异性识别与检测
    • 批准号：
      22375052
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      50.00万元
    • 批准年份：
      2023
    • 负责人：
      刘雅玲
    • 依托单位：
      国家纳米科学中心