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Leveling nanometer-scale mechanical properties of photopolymerized monomer ultrathin films

光聚合单体超薄膜的纳米级力学性能均化

基本信息

批准号：
15H03860
负责人：
Nakagawa Masaru
金额：
$ 11.07万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
起止时间：
2015-04-01 至 2019-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03860/
关键词：
光ラジカル重合超薄膜ナノギャップナノ加工ミクロゲル原子間力顕微鏡ドライエッチングナノインプリント技術ナノ材料高分子合成光化学表面・海面物性表面・界面物性マイクロ・ナノデバイス表面電位材料加工・処理微細加工

项目摘要

项目成果

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专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Elemental depth profiles and plasma etching rates of positive-tone electron beam resists after sequential infiltration synthesis of alumina

连续渗透合成氧化铝后正电子束抗蚀剂的元素深度分布和等离子体蚀刻速率

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Yuki Ozaki;Shunya Ito;Nobuya Hiroshiba;Takahiro Nakamura;and Masaru Nakagawa
通讯作者：
and Masaru Nakagawa

原原子間力顕微鏡で観察される膜厚sub-100 nmでの光硬化樹脂薄膜における表面弾性率の膜厚依存性

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DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
矢野春菜;久保祥一,中川勝;藤浪想;中嶋健
通讯作者：
中嶋健

重合性液体のシリカナノ空間中での流動性と一桁ナノ造形

二氧化硅纳米空间中可聚合液体的流动性和个位数纳米加工

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
伊東駿也;粕谷素洋;栗原和枝;中川勝
通讯作者：
中川勝

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DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
尾﨑優貴;伊東駿也;中村貴宏;中川勝
通讯作者：
中川勝

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用于荧光排列的液体区域选择性成形的表面修饰

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
落合研斗;伊東駿也;中村貴宏;中川勝
通讯作者：
中川勝

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发表时间：
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期刊：
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影响因子：
1.6
作者：
Ito Shunya;Kasuya Motohiro;Kurihara Kazue;Nakagawa Masaru
通讯作者：
Nakagawa Masaru

Nakagawa Masaru的其他文献

DOI：
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