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GaN Transistors with Three-dimensional Channel Fabricated by Using Selective Area Growth

GaN Transistors with Three-dimensional Channel Fabricated by Using Selective Area Growth
利用选择性区域生长制造的具有三维沟道的 GaN 晶体管
批准号:
15H03972
负责人:
Tsutsui Kazuo
金额:
$8.15万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份:
2015
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2015-04-01 至 2020-03-31

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東京工業大学 筒井研究室
东京工业大学筒井实验室
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
Electrical properties of selectively grown GaN channel for FinFETs
FinFET 选择性生长 GaN 沟道的电特性
DOI: --
发表时间: 2018
期刊:
影响因子: --
作者: [Takuya Hamada, Hayato Mukai, Tokio Takahashi, Toshihide Ide, Mitsuaki Shimizu, Hiroki Kuroiwa, Takuya Hoshii, Kuniyuki Kakushima, Hitoshi Wakabayashi, Hiroshi Iwai, and Kazuo Tsutsui]
通讯作者: and Kazuo Tsutsui
立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング
用于 3D 通道晶体管应用的选择性生长 GaN 的各向异性蚀刻
DOI: --
发表时间: 2018
期刊:
影响因子: --
作者: [向井 勇人, 濱田 拓也, 高橋 言緒, 井出 利英, 清水 三聡, 星井 拓也, 角嶋 邦之, 若林 整, 岩井 洋, 筒井 一生]
通讯作者: 筒井 一生
東京工業大学 未来産業技術研究所ホームページ
东京工业大学未来产业技术研究所主页
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
9
    GaN transited having 3-dimensional channels with various operation modes using selectively grown Fin structures
    • 批准号:
      19H02192
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额:
      $10.82万
    • 财政年份:
      2019
    • 负责人:
      Tsutsui Kazuo
    • 依托单位: