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Funktionsbezogene Bewertung von Nanorauheiten auf fertigungsrelevanten Oberflächen durch Streulichtmessverfahren - Phase III

使用散射光测量方法对生产相关表面的纳米粗糙度进行功能相关评估 - 第三阶段

基本信息

批准号：
5436555
负责人：
Professor Dr. Andreas Tünnermann
金额：
--
依托单位：
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2004
资助国家：
德国
起止时间：
2003-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436555?language=en
关键词：
Funktionsbezogene Bewertung von Nanorauheiten auf

项目摘要

Das Projektvorhaben zielt auf Strategien zur 3-D- Charakterisierung von Nanostrukturen auf fertigungstechnisch relevanten Oberflächen durch Streulichtmessverfahren. Aus den Messdaten sollen Rauheitskenngrößen sowie funktionsbezogene Kenngrößen abgeleitet werden. Streulichtverfahren sind dafür als besonders vorteilhaft anzusehen, da sie bei hoher Sensitivität gleichzeitig robust, schnell, berührungslos und flächendeckend arbeiten können und sich damit für den produktionsnahen bis hin zum produktionsintegrierten Einsatz unmittelbar anbieten. Derzeit existieren aber noch keine Streulichtverfahren, die eine konsistente Bewertung von Nanorauheiten sowohl in der Fertigung sehr großer als auch sehr kleiner Applikationsflächen zulassen. Im Projektvorhaben sollen deshalb Konzeptionen erarbeitet werden, die bisherige Laborverfahren nunmehr für die Prüfung von Nanostrukturen auf a) großen Fertigungsflächen mit Ausdehnungen bis in den m2 -Bereich und b) Mikrosystemkomponenten qualifizieren. Die Verfahren sollen gleichzeitig so konzipiert werden, dass die Kombination mit Rasterkraftmikroskopie (AFM) als lokalem Verfahren zu Synergieeffekten und fusionsfähigen Messdaten führt. Die abzuleitenden Rauheits- und funktionsbezogenen Kenngrößen sollen konsistent für alle Anwendungsfelder und normungsrelevant sein.

研究方向：纳米结构的三维特性研究与应用[j]； [0]; [0]Aus den Messdaten sollen Rauheitskenngrößen sowie functionsbezoggene Kenngrößen abgeleitet werden。Streulichtverfahren信德水平als感兴趣vorteilhaft anzusehen, da您贝(hoh Sensitivitat gleichzeitig强劲,快速地,beruhrungslos和flachendeckend arbeiten可以在西奇该死毛皮窝produktionsnahen bis欣zum produktionsintegrierten Einsatz unmittelbar anbieten。Derzeit existien en noch keine streulichtverfaren, die eineconsistente Bewertung von Nanorauheiten sowohl in der Fertigung sehr großer auch sehr kleiner Applikationsflächen zulassen。1 .我的project jektvorhaben sollen deshalb Konzeptionen erarbeitet werden， die bisherige Laborverfahren nunmehr fr die prfung von Nanostrukturen auf a) groß ßen Fertigungsflächen mit Ausdehnungen bis in den m2 - berichund b) microsystemcomponenten qualiizien。研究方向：1 .研究方向：1 .研究方向：1 .研究方向：1 .研究方向：1 .研究方向：1 .研究方向：1 .研究方向：Die abzuleitenden Rauheits- und functionsbezogenen Kenngrößen sollen consistent f<e:1> r alle anwendungsfeld and normungsrelevant sein。