Experimental investigation on crystallization of In2O3 based amorphous transparent conductive oxide films

In2O3基非晶透明导电氧化物薄膜晶化实验研究

基本信息

  • 批准号:
    16K04966
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.08万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2016
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2016-10-21 至 2019-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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Experimental investigation on crystallization of In2O3 based amorphous transparent conductive oxide films
In2O3基非晶透明导电氧化物薄膜晶化实验研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    S. Yamamoto;J. Jia;T. Okajima;S. Nakamura;Y. Shigesato
  • 通讯作者:
    Y. Shigesato
Technisch Universitat Darmstadt/FEP(ドイツ)
达姆施塔特工业大学/FEP(德国)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
アモルファスITOおよびIGZO薄膜の結晶化に関する研究
非晶ITO和IGZO薄膜的结晶化研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    岩﨑慎平;山本新吾;賈 軍軍;岡島敏浩;重里有三
  • 通讯作者:
    重里有三
Reactive sputter depositions of various TCO films with the low resistivity
各种低电阻率TCO薄膜的反应溅射沉积
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Yuzo Shigesato;Junjun Jia and Nobuto Oka
  • 通讯作者:
    Junjun Jia and Nobuto Oka
アモルファスIGZOトランジスタにおける欠陥構造と電子構造の関係性の解明
阐明非晶IGZO晶体管中缺陷结构与电子结构之间的关系
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    賈軍軍;重里有三
  • 通讯作者:
    重里有三
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
    Shigesato Yuzo

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