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Novel development of ring-shaped hollow magnetized discharge under neo-magnetic field configuration for low-pressure high-density uniform plasma source
新磁场配置下环形空心磁化放电低压高密度均匀等离子体源的新进展
基本信息
- 批准号：16K05634
- 负责人：
- 金额：$ 3万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2016
- 资助国家：日本
- 起止时间：2016-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Performance of a Gyratory Square-Shaped Capacitive Radio Frequency Discharge Plasma Sputtering Source for Materials Processing
- DOI：10.1007/s11090-017-9847-1
- 发表时间：2017-09
- 期刊：
- 影响因子：3.6
- 作者：M. Hossain;Y. Ohtsu;T. Tabaru
- 通讯作者：M. Hossain;Y. Ohtsu;T. Tabaru
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