Fabrication of thin-film transistor of crystallized silicon film on cellulose nanopaper
Fabrication of thin-film transistor of crystallized silicon film on cellulose nanopaper
纤维素纳米纸上结晶硅薄膜薄膜晶体管的制备
批准号：
16K06257
负责人：
Horita Susumu
金额：
$3.08万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
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CNPを被覆したガラス基板上への結晶化YSZ薄膜の室温堆積
在 CNP 涂层玻璃基板上室温沉积结晶 YSZ 薄膜
在 CNP 涂层玻璃基板上室温沉积结晶 YSZ 薄膜
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
作者：
[堀田 將, 柳生 瞳, 能木 雅也]
通讯作者：
能木 雅也
Trichloroethene Concentration Effect on Deposition Rate and Properties of Low-Temperature
三氯乙烯浓度对沉积速率和低温性能的影响
三氯乙烯浓度对沉积速率和低温性能的影响
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[堀田 將, 柳生 瞳, 能木 雅也, O. Maida and T. Ito, Puneet Jain and Susumu Horita]
通讯作者：
Puneet Jain and Susumu Horita
トリクロロエチレンによる有機SiガスAPCVD低温酸化Si膜中の残留OH量減少の効果
三氯乙烯对减少有机硅气体APCVD低温氧化硅膜中残留OH的影响
三氯乙烯对减少有机硅气体APCVD低温氧化硅膜中残留OH的影响
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[堀田 將, Jain Puneet]
通讯作者：
Jain Puneet
Effect of Added Organic Solution on Low-Temperature Deposition of SiOx Films by
添加有机溶液对低温沉积SiOx薄膜的影响
添加有机溶液对低温沉积SiOx薄膜的影响
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Susumu Horita, Jyotish Patidar, Hitomi Yagyu, and Masaya Nogi, 川端 直人，毎田 修，伊藤 利道, Puneet Jain and Susumu Horita, 児玉 大志，毎田 修，伊藤 利道, Puneet Jain and Susumu Horita, 別府 晟多，毎田 修，伊藤 利道, Puneet Jain and Susumu Horita]
通讯作者：
Puneet Jain and Susumu Horita
Dependences of deposition rate and OH content on concentration of added trichloroethylene in low-temperature silicon oxide films deposited using silicone oil and ozone gas
使用硅油和臭氧气体沉积的低温氧化硅薄膜中沉积速率和 OH 含量对添加三氯乙烯浓度的依赖性
使用硅油和臭氧气体沉积的低温氧化硅薄膜中沉积速率和 OH 含量对添加三氯乙烯浓度的依赖性
DOI：
10.7567/jjap.57.03da02
发表时间：
2018
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
[Maruoka Kenji, Naito Taiki, Maida Osamu, Ito Toshimichi, Susumu Horita and Puneet Jain]
通讯作者：
Susumu Horita and Puneet Jain
共 17 条