Fabrication of thin-film transistor of crystallized silicon film on cellulose nanopaper

纤维素纳米纸上结晶硅薄膜薄膜晶体管的制备

• 批准号: 16K06257
• 负责人: Horita Susumu
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Japan Advanced Institute of Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16K06257/
• 关键词: セルロースナノペーパ; 結晶化シリコン; 薄膜トランジスタ; 低温作製; イットリア安定化ジルコニア; セルロースナノペーパー; 結晶化シリコン膜; YSZ薄膜低温作製; 電子・電気材料; 電子デバイス・機器; デバイス設計・製造プロセス

项目成果

CNPを被覆したガラス基板上への結晶化YSZ薄膜の室温堆積

在 CNP 涂层玻璃基板上室温沉积结晶 YSZ 薄膜

• 发表时间: 2018
• 作者: 堀田 將;柳生 瞳; 能木 雅也
• 通讯作者: 能木 雅也

Trichloroethene Concentration Effect on Deposition Rate and Properties of Low-Temperature

三氯乙烯浓度对沉积速率和低温性能的影响

• 发表时间: 2017
• 作者: 堀田 將;柳生 瞳; 能木 雅也;O. Maida and T. Ito;Puneet Jain and Susumu Horita
• 通讯作者: Puneet Jain and Susumu Horita

トリクロロエチレンによる有機SiガスAPCVD低温酸化Si膜中の残留OH量減少の効果

三氯乙烯对减少有机硅气体APCVD低温氧化硅膜中残留OH的影响

• 发表时间: 2017
• 作者: 堀田 將;Jain Puneet
• 通讯作者: Jain Puneet

Effect of Added Organic Solution on Low-Temperature Deposition of SiOx Films by

添加有机溶液对低温沉积SiOx薄膜的影响

• 发表时间: 2016
• 作者: Susumu Horita;Jyotish Patidar;Hitomi Yagyu;and Masaya Nogi;川端 直人，毎田 修，伊藤 利道;Puneet Jain and Susumu Horita;児玉 大志，毎田 修，伊藤 利道;Puneet Jain and Susumu Horita;別府 晟多，毎田 修，伊藤 利道;Puneet Jain and Susumu Horita
• 通讯作者: Puneet Jain and Susumu Horita

Dependences of deposition rate and OH content on concentration of added trichloroethylene in low-temperature silicon oxide films deposited using silicone oil and ozone gas

使用硅油和臭氧气体沉积的低温氧化硅薄膜中沉积速率和 OH 含量对添加三氯乙烯浓度的依赖性

• DOI: 10.7567/jjap.57.03da02
• 发表时间: 2018
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: Maruoka Kenji;Naito Taiki;Maida Osamu;Ito Toshimichi;Susumu Horita and Puneet Jain
• 通讯作者: Susumu Horita and Puneet Jain