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Demonstration of high sensitive ultrasonic detection by the integration of piezoelectric MEMS and ferroelectric gate FET

Demonstration of high sensitive ultrasonic detection by the integration of piezoelectric MEMS and ferroelectric gate FET
压电MEMS与铁电栅极FET集成的高灵敏度超声波检测演示
批准号：
16H04353
负责人：
Yoshimura Takeshi
金额：
$10.57万
依托单位：
Osaka Prefecture University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H04353/
关键词：
圧電MEMS超音波負性容量急峻スイッチング強誘電体電子デバイス・機器圧電体

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Effects of (Bi1/2,Na1/2)TiO3 on the electrical properties of BiFeO3-based thin films
DOI： 10.7567/jjap.55.10ta17
发表时间： 2016-09
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [J. Choi;T. Yoshimura;N. Fujimura]
通讯作者： J. Choi;T. Yoshimura;N. Fujimura
Fabrication of μm-thick P(VDF-TrFE) Films and the electrical properties
μm厚P(VDF-TrFE)薄膜的制备及其电性能
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Yuji Matsushita, Takeshi Yoshimura and Norifumi Fujimura]
通讯作者： Takeshi Yoshimura and Norifumi Fujimura
Piezoelectric Properties of vinylidene fluoride-trifluoroethylene copolymer [P(VDF-TrFE)] films
偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物[P(VDF-TrFE)]薄膜的压电性能
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [Izuru Kanagawa, Yuji Matsushita, Takeshi Yoshimura, and Norifumi Fujimura]
通讯作者： and Norifumi Fujimura
スパッタ法を用いたSi基板上へのPZTエピタキシャル薄膜の作製
溅射法在Si衬底上制备PZT外延薄膜
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [村瀬　幹生, 和泉　享兵, 吉村　武, 藤村　紀文]
通讯作者： 藤村　紀文
共 12 条
    Molecular Mechanisms for axon initial segment plasticity in neurons
    • 批准号：
      20K06855
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Yoshimura Takeshi
    • 依托单位：
      Osaka University
    Study of combinatorial and mathematical programming methods for high level synthesis
    • 批准号：
      26420323
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.08万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      Yoshimura Takeshi
    • 依托单位：
      Waseda University
    Development of hig efficiency and small heat pump using electrocaloric effect of organic ferroelectric thin films
    • 批准号：
      25600102
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      Yoshimura Takeshi
    • 依托单位：
      Osaka Prefecture University
    国内基金
    海外基金
    导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
    • 批准号：
      2026JJ50499
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      樊波
    • 依托单位：
      南华大学
    基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王捍兵
    • 依托单位：
      常州机电职业技术学院
    面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
    • 批准号：
      JCZRQNB202600477
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      湖北光谷实验室
    用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      蔡先法
    • 依托单位：
      南京邮电大学