Finite-Element-Modelle zur Berechnung von Delaminationen dünner Schichten

Dünne Festkörper-Filme als Schutzschichten auf Substraten韦尔登bei versedenen Technologien angewendet.死的是z.B.由Schneidwerkzeugen设计的。在高温条件下，在集成化的Schaltkreisen、Beschichtungen auf optischen Polymeren或keramische Beschichtungen als Schutz上，扩散由基底和金属材料组成。Die unterschedlichen Temperaturdehnkoeffizienten führen insbesondere bei der Herstellung zu entsprechenden Temperaturbelastungen und damit zu Spannungen in den einzelnen Komponenten. Bei hinreichend großen Druckspannungen in den Beschichtungen ergeben sich Stabilitätsprobleme in Verbindung mit Versagen an den Grenzschichten.在该研究中解决了基底材料上的层间分层韦尔登问题。在连续力学的基础上，提出了一种用于连续运动的二维理论韦尔登。在脱层过程中存在一个自由的随机性问题。通过有限元法的数值计算，可以解决复杂的机械过程，从而使系统的功能得到充分的发挥。

Dünne Festkörper-Filme als Schutzschichten auf Substraten werden bei verschiedenen Technologien angewendet. Dies sind z.B. verschleißfeste Beschichtungen von Schneidwerkzeugen. Diffusionssperren zwischen Substraten und metallischen Leitern bei integrierten Schaltkreisen, Beschichtungen auf optischen Polymeren oder keramische Beschichtungen als Schutz bei hohen Temperaturen. Die unterschiedlichen Temperaturdehnkoeffizienten führen insbesondere bei der Herstellung zu entsprechenden Temperaturbelastungen und damit zu Spannungen in den einzelnen Komponenten. Bei hinreichend großen Druckspannungen in den Beschichtungen ergeben sich Stabilitätsprobleme in Verbindung mit Versagen an den Grenzschichten. In dem Forschungsvorhaben soll das Problem der Delaminationen von dünnen Schichten auf Substratmaterialien grundlegend untersucht werden. Auf Grundlage der Kontinuumsmechanik soll eine 2D-Theorie für dünne abhebende Schichten entwickelt werden. Bei Einbeziehung von Delaminationswachstum liegt ein freies Randwertproblem vor. Aus den numerischen Lösungen im Rahmen der Finite-Element-Methode sollen Erkenntnisse des komplizierten mechanischen Prozesses hergeleitet werden, um Maßnahmen zur Erhaltung der Funktionsfähigkeit der betrachteten Systeme zu gewinnen.