Growth processes and low-dimensional physical properties on ultrathin high-k materials film fabricated on concave-convex Si surface by spectroscopic observation
Growth processes and low-dimensional physical properties on ultrathin high-k materials film fabricated on concave-convex Si surface by spectroscopic observation
批准号:
17K06030
负责人:
Kakiuchi Takuhiro
金额:
$3.16万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2017
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2017-04-01 至 2020-03-31
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Initial oxidation process of ultrathin hafnium film on Si(111) surface studied by Hf 4f, Si 2p, and O 1s core-level spectroscopy
Hf 4f、Si 2p、O 1s 核能谱研究Si(111)表面超薄铪膜的初始氧化过程
DOI:
--
发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Takuhiro Kakiuchi, Daisuke Koyama, Akitaka Yoshigoe]
通讯作者:
Akitaka Yoshigoe
Helmholz-Zentrum Berlin(ドイツ)
柏林亥姆霍兹中心(德国)
DOI:
--
发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
Fabrication of High Dielectric Ultrathin-Film Utilizing Inactivated Si(110) Single Domain Surface and Evaluation of Its Physical Property
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批准号:26870416
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项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额:$2.5万
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财政年份:2014
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负责人:Kakiuchi Takuhiro
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依托单位:
海外基金