Systematic understanding and application of chemical etching of compound semiconductors

化合物半导体化学刻蚀的系统理解与应用

基本信息

  • 批准号:
    17K06866
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2017
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2017-04-01 至 2020-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のアノードエッチング
III-V族化合物半导体的阳极蚀刻
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hayakawa K.;Nakamura T.;阿相英孝,小野幸子
  • 通讯作者:
    阿相英孝,小野幸子
シリコンの化学エッチングに対する炭素系触媒の影響
碳基催化剂对硅化学刻蚀的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    T. Uemori;T. Naka;N. Tada;H. Yoshimura;T. Katahira;F. Yoshida;関戸大智,川澄諒,橋本英樹,阿相英孝
  • 通讯作者:
    関戸大智,川澄諒,橋本英樹,阿相英孝
HF-KMnO4混合液を用いたGaAsの金属触媒エッチング
使用 HF-KMnO4 混合物金属催化蚀刻 GaAs
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    R. Imai;H. Hashimoto and H. Asoh;原田崇史,早川邦夫,久保田義弘,和久田顕人;今井涼太,橋本英樹,阿相英孝
  • 通讯作者:
    今井涼太,橋本英樹,阿相英孝
アノードエッチングを用いた化合物半導体の微細加工
使用阳极蚀刻进行化合物半导体的微加工
  • DOI:
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Kazunari Yoshida;Shintaro Takamiya;藤井 達也,早川 邦夫,原田 崇史,成田 忍,久保田 義弘;阿相英孝
  • 通讯作者:
    阿相英孝
Chemical Etching of GaAs using Au Nanodots as a Catalyst
使用 Au 纳米点作为催化剂对 GaAs 进行化学蚀刻
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    R. Imai;H. Hashimoto and H. Asoh
  • 通讯作者:
    H. Hashimoto and H. Asoh
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

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    $ 3万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (A)
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    58850042
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