Systematic understanding and application of chemical etching of compound semiconductors
化合物半导体化学刻蚀的系统理解与应用
基本信息
- 批准号:17K06866
- 负责人:
- 金额:$ 3万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2017
- 资助国家:日本
- 起止时间:2017-04-01 至 2020-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のアノードエッチング
III-V族化合物半导体的阳极蚀刻
- DOI:
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Hayakawa K.;Nakamura T.;阿相英孝,小野幸子
- 通讯作者:阿相英孝,小野幸子
シリコンの化学エッチングに対する炭素系触媒の影響
碳基催化剂对硅化学刻蚀的影响
- DOI:
- 发表时间:2019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Uemori;T. Naka;N. Tada;H. Yoshimura;T. Katahira;F. Yoshida;関戸大智,川澄諒,橋本英樹,阿相英孝
- 通讯作者:関戸大智,川澄諒,橋本英樹,阿相英孝
HF-KMnO4混合液を用いたGaAsの金属触媒エッチング
使用 HF-KMnO4 混合物金属催化蚀刻 GaAs
- DOI:
- 发表时间:2017
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:R. Imai;H. Hashimoto and H. Asoh;原田崇史,早川邦夫,久保田義弘,和久田顕人;今井涼太,橋本英樹,阿相英孝
- 通讯作者:今井涼太,橋本英樹,阿相英孝
アノードエッチングを用いた化合物半導体の微細加工
使用阳极蚀刻进行化合物半导体的微加工
- DOI:
- 发表时间:2018
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Kazunari Yoshida;Shintaro Takamiya;藤井 達也,早川 邦夫,原田 崇史,成田 忍,久保田 義弘;阿相英孝
- 通讯作者:阿相英孝
Chemical Etching of GaAs using Au Nanodots as a Catalyst
使用 Au 纳米点作为催化剂对 GaAs 进行化学蚀刻
- DOI:
- 发表时间:2017
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:R. Imai;H. Hashimoto and H. Asoh
- 通讯作者:H. Hashimoto and H. Asoh
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