Low temperature bonding for integrated photonics application
Low temperature bonding for integrated photonics application
集成光子学应用的低温键合
批准号：
20H02207
负责人：
Takigawa Ryo
金额：
$11.15万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
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表面活性化室温接合法によるInP-on-Insulatorウエハの作製
采用表面激活室温键合方法制造 InP-on-Insulator 晶圆
采用表面激活室温键合方法制造 InP-on-Insulator 晶圆
DOI：
--
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Fitzky Gabriel, Nakajima Makoto, Koike Yohei, Leitenstorfer Alfred, Kurihara Takayuki, Y. Mizugaki, 章 固非, 村上 誠悟, 渡辺 要, 多喜川 良]
通讯作者：
章 固非, 村上 誠悟, 渡辺 要, 多喜川 良
表面活性化によるInPとSiCの室温ウェハ接合
通过表面活化进行 InP 和 SiC 的室温晶圆键合
通过表面活化进行 InP 和 SiC 的室温晶圆键合
DOI：
--
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
作者：
[P. Ramesh Babu, S. Kalainathan, and Satoru Yoshimura, 前川敏輝,範云翰,渡辺要,多喜川良]
通讯作者：
前川敏輝,範云翰,渡辺要,多喜川良
Investigation of the interface between LiNbO3 and Si fabricated via room-temperature bonding method using activated Si nano layer
研究使用活化的硅纳米层通过室温键合方法制造的 LiNbO3 和 Si 之间的界面
研究使用活化的硅纳米层通过室温键合方法制造的 LiNbO3 和 Si 之间的界面
DOI：
10.35848/1347-4065/acc2cb
发表时间：
2023
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
[Murakami Seigo, Watanabe Kaname, Takigawa Ryo]
通讯作者：
Takigawa Ryo
リン化インジウム/シリコンカーバイド常温接合界面の評価
磷化铟/碳化硅室温键合界面评价
磷化铟/碳化硅室温键合界面评价
DOI：
--
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Iba Ayato, Domier Calvin W., Ikeda Makoto, Mase Atsushi, Nakajima Makoto, Pham Anh-Vu, Luhmann Neville C., 渡辺 要, 範云翰, 前川 敏輝, 多喜川 良]
通讯作者：
渡辺 要, 範云翰, 前川 敏輝, 多喜川 良
Room-temperature wafer bonding of LiNbO3 and Si using surface activation process with self-sputtering
采用自溅射表面活化工艺进行 LiNbO3 和 Si 的室温晶圆键合
采用自溅射表面活化工艺进行 LiNbO3 和 Si 的室温晶圆键合
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[尾関拓海, 山本大地, 江川元太, 吉村哲, Kaname Watanabe and Ryo Takigawa]
通讯作者：
Kaname Watanabe and Ryo Takigawa
共 14 条
Room temperature bonding in air for heterogeneous optical integration
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批准号：18K18863
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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资助金额：$3.99万
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财政年份：2018
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负责人：Takigawa Ryo
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依托单位：
Heterophotonics fabricated by ultra-precision cutting and room-temperature bonding
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批准号：17H04925
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
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资助金额：$15.56万
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财政年份：2017
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负责人：Takigawa Ryo
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依托单位：
Fabrication of Lithium Niobate waveguides using ultra-precision ductile-mode cutting method
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批准号：15K18055
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.66万
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财政年份：2015
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负责人：Takigawa Ryo
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依托单位：