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Fabrication of Lithium Niobate waveguides using ultra-precision ductile-mode cutting method

Fabrication of Lithium Niobate waveguides using ultra-precision ductile-mode cutting method
采用超精密延性模切割法制造铌酸锂波导
批准号：
15K18055
负责人：
Takigawa Ryo
金额：
$2.66万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15K18055/
关键词：
低損失光導波路ナノ・マイクロ加工大気中異種材料低温接合切削加工強い光閉じ込め導波路大気中異種材料接合光導波路異種材料接合

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Investigation of the bonding interface of LiNbO3 and Si wafers bonded by laser irradiation
激光辐照键合 LiNbO3 和 Si 晶片键合界面的研究
DOI： --
发表时间： 2017
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [Ryo Takigawa, Hiroki kawano, Hiroshi Ikenoue, and Tanemasa Asano]
通讯作者： and Tanemasa Asano
LiNbO3/Si hybrid wafer bonded in ambient air using laser irradiation
使用激光照射在环境空气中粘合 LiNbO3/Si 混合晶圆
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [Ryo Takigawa, Hiroki Kawano, Hiroshi Ikenoue, and Tanemasa Asano]
通讯作者： and Tanemasa Asano
Surface activated wafer bonding of LiNbO3 and SiO2/Si for LNOI on Si
用于 Si 上 LNOI 的 LiNbO3 和 SiO2/Si 的表面活化晶圆键合
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [Ryo Takigawa, Eiji Higurashi, Tanemasa Asano]
通讯作者： Tanemasa Asano
Bonding of LiNbO3 thin film on Si substrate using laser irradiation
使用激光照射将 LiNbO3 薄膜键合到 Si 基板上
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroki Kawano, Ryo Takigawa, Hiroshi Ikenoue, and Tanemasa Asano]
通讯作者： and Tanemasa Asano
共 8 条
    Low temperature bonding for integrated photonics application
    • 批准号：
      20H02207
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.15万
    • 财政年份：
      2020
    • 负责人：
      Takigawa Ryo
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Room temperature bonding in air for heterogeneous optical integration
    • 批准号：
      18K18863
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $3.99万
    • 财政年份：
      2018
    • 负责人：
      Takigawa Ryo
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Heterophotonics fabricated by ultra-precision cutting and room-temperature bonding
    • 批准号：
      17H04925
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • 资助金额：
      $15.56万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      Takigawa Ryo
    • 依托单位：
      Kyushu University