Single-shot 3D nano surface profilometry by using wide field laser scanning interferometer

使用宽视场激光扫描干涉仪进行单次 3D 纳米表面轮廓测量

• 批准号: 18H01360
• 负责人: NITTA ISAMI
• 金额: $ 11.23万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2018
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2018-04-01 至 2021-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18H01360/
• 关键词: 広視野計測; レーザ走査干渉計; 広視野レーザ顕微鏡; ワンショット干渉計測; 金属成膜参照板; 振動; ロバスト; ナノ計測; Laser interferometry; Wide field of view; Saw tooth; Single shot; Metal coated reference; Sawtooth

项目成果

トライボロジーの評価制御応用展開

摩擦学评价与控制应用开发

• 发表时间: 2021
• 作者: A. Hase;Y. Sato;K. Shinohara;K. Arai;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭，佐藤陽介，篠原圭介，荒井健太郎;長谷亜蘭;飯島廉之，長谷亜蘭;長谷亜蘭;A. Hase;A. Hase;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;飯島廉之，長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;A. Hase;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;今井幸輝，長谷亜蘭;長谷亜蘭;須賀雄平，長谷亜蘭;長谷亜蘭;A. Hase;須賀雄平，長谷亜蘭;長谷亜蘭，佐藤陽介，篠原圭介，荒井健太郎;長谷亜蘭，佐藤陽介，篠原圭介，荒井健太郎;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;須賀雄平，長谷亜蘭;長谷亜蘭;横川 遼，長谷亜蘭;Alan Hase;長谷亜蘭;長谷亜蘭;長谷亜蘭;横川 遼，長谷亜蘭;長谷亜蘭（公益社団法人精密工学会編，分担執筆）;長谷亜蘭（分担執筆，他17名）
• 通讯作者: 長谷亜蘭（分担執筆，他17名）

広視野レーザ顕微鏡への光切断法の導入

宽视场激光显微镜引入光学切割方法

• 发表时间: 2021
• 作者: Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人，月山陽介，新田勇
• 通讯作者: 本田逸人，月山陽介，新田勇

A novel single shot interferometry with a wide field of view by reference plates coated with various metals

• DOI: 10.1016/j.precisioneng.2018.01.015
• 发表时间: 2018-04
• 期刊: Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
• 影响因子: 3.6
• 作者: Yuta Ohara;Yosuke Tsukiyama;I. Nitta

広視野レーザ顕微鏡への光切断法の導入～形状計測範囲の拡大～

将光学切割方法引入宽视场激光显微镜 - 扩大形状测量范围 -

• 发表时间: 2020
• 作者: Ohara Yuta;Tsukiyama Yosuke;Nitta Isami;本田逸人，月山陽介，新田勇;新田勇，月山陽介;新田勇，月山陽介;Isami Nitta，Yosuke Tukiyama;目黒宙，新田勇，月山陽介
• 通讯作者: 目黒宙，新田勇，月山陽介

3D surface profile measurement by single shot interferometry with wide field of view

通过宽视场单次干涉测量 3D 表面轮廓

• 发表时间: 2019
• 作者: Isami Nitta;Takuya Sato;Yosuke Tsukiyama
• 通讯作者: Yosuke Tsukiyama