Elucidation of quasi phase image appearance for phase shifting method suitable for wide-field laser microscope

阐明适用于宽视场激光显微镜的相移方法的准相位图像外观

• 批准号: 26630037
• 负责人: NITTA ISAMI
• 金额: $ 2.41万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26630037/
• 关键词: 機械要素; レーザ走査干渉計; 位相シフト法; 広視野レーザ顕微鏡; シュリンクフィッタ; ナノ計測; 広領域

项目成果

広視野レーザ走査干渉計を用いた新規干渉縞パターンの観察

使用宽视场激光扫描干涉仪观察新的干涉条纹图案

• 发表时间: 2015
• 作者: Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘;大原佑太;大原佑太
• 通讯作者: 大原佑太

広視野レーザ干渉計によるナノ形状の新規計測手法の開発 ‐参照板に成膜する金属材料の影響‐

使用宽视场激光干涉仪开发纳米形状的新测量方法 - 沉积在参考板上的金属材料的影响 -

• 发表时间: 2015
• 作者: Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘;大原佑太;大原佑太;宮田晃輔，大原佑太，横山大地，月山陽介，新田勇
• 通讯作者: 宮田晃輔，大原佑太，横山大地，月山陽介，新田勇

広視野レーザ走査型干渉計を用いたナノ形状計測手法の開発－新規干渉縞パターンの観察－

使用宽视场激光扫描干涉仪开发纳米形状测量方法 - 观察新的干涉条纹图案 -

• 发表时间: 2015
• 作者: Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘;大原佑太
• 通讯作者: 大原佑太

ECRスパッタ成膜参照板による新規干渉縞パターンの観察

使用 ECR 溅射沉积参考板观察新的干涉条纹图案

• 发表时间: 2014
• 作者: Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘;大原佑太;大原佑太;宮田晃輔，大原佑太，横山大地，月山陽介，新田勇;大原佑太，横山大地，鈴木天，月山陽介，新田勇
• 通讯作者: 大原佑太，横山大地，鈴木天，月山陽介，新田勇