Piezospektroskopie an Stickstoff-Sauerstoff-Komplexen in Silizium

硅中氮氧配合物的压电光谱

• 批准号: 58938695
• 负责人: Professor Dr. Hans Christian Alt
• 金额: --
• 依托单位: Fakultät für Angewandte Naturwissenschaften und Mechatronik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2006-12-31 至 2010-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/58938695?language=en
• 关键词: Piezospektroskopie; Stickstoff; Sauerstoff; Komplexen; Silizium

Stickstoff-Sauerstoff - (N, O -) Komplexe in Silizium, die als flache, wasserstoffähnliche Donatoren wirken, werden mittels Piezospektroskopie im Ferninfraroten untersucht. Hintergrund ist das derzeit starke Interesse an der Stickstoff-Dotierung von Czochralski-Silizium zur Beeinflussung von leerstellen- und zwischengitterartigen Defektagglomeraten und an der Stickstoff-Sauerstoff-Wechselwirkung. Die mikroskopische Struktur der einzelnen Spezies der N, O - Defektfamilie ist nicht bekannt. Unter uniaxialem Druck in [100] -, [110] - und [111] -Richtung spalten die elektronischen Übergänge, d. h. die mit FTIR-Spektroskopie im Bereich von 180 - 280 cm-1 zu beobachtenden Absorptionsbanden, auf, da die Orientierungsentartung teilweise aufgehoben wird. Anhand der Aufspaltungsmuster lässt sich die lokale Symmetrie einzelner N, O - Defekte bestimmen. Durch Vergleich mit bekannten theoretischen Modellen und mit den aus eigenen Voruntersuchungen ebenfalls bekannten Abhängigkeiten von der N- und O-Konzentration im Kristall soll die mikroskopische Struktur der wichtigsten Vertreter der elektrisch aktiven N, O - Defekte in Silizium aufgeklärt werden.

Stickstoff-Sauerstoff - (N, O -)硅络合物，die als flache, wasserstoffähnliche Donatoren wirken, werden mittel，压电光谱法。研究范围：1、研究范围：1、研究范围：1、研究范围：1、研究范围：1、研究范围：1、研究范围：1、研究范围：1、研究范围：在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国。[100] -，[110] -和[111]- richtung spalten die elektronischen Übergänge， d. h. die ftir - spektroskesim berich on 180 - 280cm -1 zu beobachtenen, auf, da . die Orientierungsentartung teilweise aufgehoisen风。德国工业钨工业协会（Aufspaltungsmuster） lässt .中国工业钨工业协会（aufspal钨工业协会）。Durch Vergleich mit bekannten theoretischen Modellen and mit den aus eigenen Voruntersuchungen ebenfalls bekannten Abhängigkeiten von der N- and O- konconcentration in kristal soll die microskopische Struktur der witterter der elektrisch aktiven N, O- defkte in Silizium aufgeklärt werden。