ダイヤモンドへのイオン注入による不純物ドーピング技術の実用的探究
ダイヤモンドへのイオン注入による不純物ドーピング技術の実用的探究
金刚石离子注入杂质掺杂技术的实践探索
批准号：
23K03930
负责人：
星野 靖
金额：
$3.08万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
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会议论文
シリコンカーバイド表面の酸化及び金属薄膜との反応過程の解析と界面制御技術の確立
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批准号：04J00228
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$2.18万
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财政年份：2004
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负责人：星野 靖
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依托单位：
海外基金
