Messgerät zur 3D-Bewegungsanalyse von Mikrostrukturen

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Das Messgerät ermöglicht eine 3D-Bewegungsanalyse und Oberflächeninspektion von mikro- und gerätetechnischen Komponenten. Dabei sollen Bewegungen bis in den Subnanometerbereich mit einer Dynamik von bis zu 20 MHz aufgelöst werden. In Verbindung mit einer Vakuumkammer und einem temperaturgeregelten Probenträger sind Messungen bei verschiedenen Umgebungsbedingungen durchführbar. Damit werden die messtechnischen Möglichkeiten der Professur und der Fakultät ET/IT wesentlich erweitert. Das Gerät dient vorrangig der akademischen Forschung auf dem Gebiet des Entwurfs und der Charakterisierung von mikro- und gerätetechnischen Komponenten, wird aber auch bei der Bearbeitung zukünftiger Drittmittelprojekte (insbesondere Sensorik für Fahrzeuge und Industrieautomatisierung) und in der akademischen Ausbildung eingesetzt werden.