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イオンビーム・リソグラフィ(IBL)のイオン線源に関する基礎研究

イオンビーム・リソグラフィ(IBL)のイオン線源に関する基礎研究
离子束光刻(IBL)离子束源的基础研究
批准号:
58209015
负责人:
桜井 利夫
金额:
$1.28万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份:
1983
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1983 至 --
关键词:

项目摘要

项目成果

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BEEM電流を信号とした界面活用の消去可能超微細記録素子の基礎と応用
  • 批准号:
    13355002
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额:
    $34.61万
  • 财政年份:
    2001
  • 负责人:
    桜井 利夫
  • 依托单位:
STMによるナノメータースケールでの電子揺動効果の研究及びその応用
  • 批准号:
    98F00941
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1999
  • 负责人:
    桜井 利夫
  • 依托单位:
薄膜磁性材料のナノ組織解析による磁気特性の発現機構の解明
  • 批准号:
    07405015
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (A)
  • 资助金额:
    $0.0万
  • 财政年份:
    1995
  • 负责人:
    桜井 利夫
  • 依托单位:
FI‐STMによる半導体ー金属界面の微視的研究
  • 批准号:
    03216201
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    桜井 利夫
  • 依托单位: