Statistical process control for semiconductor process
Statistical process control for semiconductor process
半导体工艺的统计过程控制
批准号：
25750120
负责人：
Kawamura Hironobu
金额：
$2.58万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2017-03-31
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半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ”
在半导体制造过程中实践 T2-Q 控制图：从管理波动幅度到管理波动模式。”
在半导体制造过程中实践 T2-Q 控制图：从管理波动幅度到管理波动模式。”
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
品質
影响因子：
--
作者：
[Yasunari Tsuruoka, Hironobu Kawamura, 東出政信，仁科健，川村大伸]
通讯作者：
東出政信，仁科健，川村大伸
多品種少量生産に対するベイズQ管理図
用于高混合小批量生产的贝叶斯 Q 图
用于高混合小批量生产的贝叶斯 Q 图
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Yasunari Tsuruoka, Hironobu Kawamura, 東出政信，仁科健，川村大伸, 川村大伸, Kawamura，H．，Nishina，K．，Higashide，M．and Suzuki，T．, 鶴岡靖成，川村大伸]
通讯作者：
鶴岡靖成，川村大伸
Multifaced Evaluation of Supersaturared Designs
过饱和设计的多方面评估
过饱和设计的多方面评估
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
Proceedings of the thirteenth ANQ Congress
影响因子：
--
作者：
[Tomohiro Nakajima, Hironobu Kawamura]
通讯作者：
Hironobu Kawamura
多品種少量生産用の管理図
高品种、小批量生产的控制图
高品种、小批量生产的控制图
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Masanobu HIGASHIDE, Ken NISHINA, Hironobu KAWAMURA, Ryota SUGIURA, 川村大伸，仁科健，東出政信]
通讯作者：
川村大伸，仁科健，東出政信
ウエーハ内変動パターンに同期したCMP装置異常の検出
与晶圆内波动模式同步检测 CMP 设备异常
与晶圆内波动模式同步检测 CMP 设备异常
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Yasunari Tsuruoka, Hironobu Kawamura, 東出政信，仁科健，川村大伸, 川村大伸, Kawamura，H．，Nishina，K．，Higashide，M．and Suzuki，T．, 鶴岡靖成，川村大伸, 東出政信，仁科健，川村大伸，杉浦遼太]
通讯作者：
東出政信，仁科健，川村大伸，杉浦遼太
共 10 条
Quality Control for Big Data Environment through Industry-Academia Collaboration
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批准号：17K01253
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.0万
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财政年份：2017
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负责人：Kawamura Hironobu
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依托单位：
海外基金