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Statistical process control for semiconductor process
半导体工艺的统计过程控制
基本信息
- 批准号：25750120
- 负责人：
- 金额：$ 2.58万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2013
- 资助国家：日本
- 起止时间：2013-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
半導体製造工程におけるT2-Q管理図の実践 : 変動の大きさの管理から変動パターンの管理へ”
在半导体制造过程中实践 T2-Q 控制图：从管理波动幅度到管理波动模式。”
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yasunari Tsuruoka;Hironobu Kawamura;東出政信，仁科健，川村大伸
- 通讯作者：東出政信，仁科健，川村大伸
多品種少量生産に対するベイズQ管理図
用于高混合小批量生产的贝叶斯 Q 图
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yasunari Tsuruoka;Hironobu Kawamura;東出政信，仁科健，川村大伸;川村大伸;Kawamura，H．，Nishina，K．，Higashide，M．and Suzuki，T．;鶴岡靖成，川村大伸
- 通讯作者：鶴岡靖成，川村大伸
Multifaced Evaluation of Supersaturared Designs
过饱和设计的多方面评估
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Tomohiro Nakajima;Hironobu Kawamura
- 通讯作者：Hironobu Kawamura
多品種少量生産用の管理図
高品种、小批量生产的控制图
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Masanobu HIGASHIDE;Ken NISHINA;Hironobu KAWAMURA;Ryota SUGIURA;川村大伸，仁科健，東出政信
- 通讯作者：川村大伸，仁科健，東出政信
ウエーハ内変動パターンに同期したCMP装置異常の検出
与晶圆内波动模式同步检测 CMP 设备异常
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yasunari Tsuruoka;Hironobu Kawamura;東出政信，仁科健，川村大伸;川村大伸;Kawamura，H．，Nishina，K．，Higashide，M．and Suzuki，T．;鶴岡靖成，川村大伸;東出政信，仁科健，川村大伸，杉浦遼太
- 通讯作者：東出政信，仁科健，川村大伸，杉浦遼太
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Kawamura Hironobu其他文献
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Quality Control for Big Data Environment through Industry-Academia Collaboration
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- 批准号：
17K01253 - 财政年份：2017
- 资助金额：
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$ 2.58万 - 项目类别：
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実験計画法における計画の存在条件, 構成法とその数理的構造
实验设计中设计的存在条件、构造方法及其数学结构
- 批准号：
59740118 - 财政年份：1984
- 资助金额：
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检查促进不能模仿的严重智障儿童模仿的因素：短期实验设计的应用
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58710156 - 财政年份：1983
- 资助金额：
$ 2.58万 - 项目类别：
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