权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

粒子状磁気記録媒体薄膜作成のための完全熱化高ガス圧スパッタ技術の開発

开发用于制造颗粒磁记录介质薄膜的全热高气压溅射技术

基本信息

批准号：
09650379
负责人：
石井清
金额：
$ 2.05万
依托单位：
Utsunomiya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至 1998
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では、ガスフロースパッタ法と呼ぶ独自のスパッタ法を基礎として、次世代磁気記録媒体薄膜の作製に適した成膜プロセスを開発することを目指している。具体的には、微粒子を敷き詰めたような構造(微粒子構造)の磁性薄膜を、その粒径、結晶性および粒子性を制御できるプロセスの構築し、磁性薄膜の構造制御条件を明らかにすることである。本年度の実績をまとめると次のようになる。1.ガスフロースパッタ法における次世代記録媒体としての可能性を有したhcp単相構造Co薄膜の生成条件を明らかにした。従来のプロセスではhcp単相のCo膜は作製できず、現在唯―の方法として確立てきた。2.Hcp単相Co膜の生成条件は成長温度を約350℃に保つことであるが、微粒子形状の構造にするためには成長温度をなるべく低く保つ必要があることを明らかにした。3.ガラス基板上へのhcp-Co膜の堆積においては、100℃以下の成長温度の時、c軸が基板面に垂直に配向し、結晶粒子の大きさは直径が約15nm、長さが約60nmであり、c軸方向に成長することが明らかになつた。ただし、それらの結晶粒子は密に成長し、直径が20nm程度の2次的組織を形成するため、記録媒体としては適さない。目的とする粒子構造にするためには、なんらかの下地層が必要と考えられる。4.本プロセスにおけるターゲット形状と堆積速度および堆積種の関連性を実験的に調べ、ターゲット内径が0.5cm程度から有効な動作をし、内径がlcm以下においてはクラスターの堆積が可能であることを明らかにした。さらに、このクラスター堆積により微粒子構造の薄膜が作製できることを示した。

This study is aimed at the development of a new method for preparing thin films for the next generation of magnetic recording media. The specific structure of magnetic thin films, particle size, crystallinity and particle properties of magnetic thin films with fine particle structure and fine particle structure are described in detail. The results for the year are as follows: 1. The possibility of producing Co thin films in the next generation of recording media is clear. In the past, the only way to establish a new method for the preparation of hcp single phase Co film was to establish a new method for the preparation of hcp single phase Co film. 2. The growth temperature of Hcp single phase Co film is about 350℃, and the structure of fine particle shape is about 350 ℃. 3. Deposition of hcp-Co film on the substrate, growth temperature below 100℃, c-axis alignment perpendicular to the substrate surface, crystal particle diameter up to about 15nm, length up to about 60nm, c-axis direction growth. The crystal particles are densely grown, and the secondary structure with a diameter of about 20nm is formed, and the recording medium is suitable. The purpose of the particle structure is to examine the underlying strata. 4. The relationship between the shape and the accumulation speed of the deposit and the relationship between the deposit and the deposit is adjusted to the extent that the inner diameter of the deposit is less than 0.5 cm. This is the first time that a thin film of fine particle structure has been fabricated.