次世代磁気記録媒体ナノ粒子薄膜の新規作製と特性制御
次世代磁気記録媒体ナノ粒子薄膜の新規作製と特性制御
批准号:
17560302
负责人:
石井 清
金额:
$2.24万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2005
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2005 至 2006
中文摘要
前年度の研究で,Pt(111)下地上にガスフロースパッタ法により堆積させたCo-Pt薄膜は,幅約10nmの柱状の粒子からなり,c軸が基板に対して垂直となるような結晶配向を持っていること,そのようなナノ粒子構造が7kOeという高い垂直保磁力を生じることを明らかにした.本年度は,まず高保磁力の原因を探るために,熱処理条件を変化させたCo-Pt/Pt薄膜についてX線光電子分光(XPS)を用いて深さ方向の組成分析を行った.その結果,熱処理温度の上昇に伴って表面からCoの酸化が進行し,熱処理温度350℃では,ほとんどのCo原子が酸化していることが明らかになった.保磁力が最大となる熱処理温度は250℃であり,この温度ではCo-Pt層全体が酸化することなく,粒界のみに酸化層が析出することにより,磁区の分離が促され高保磁力を生じていることが明らかになった.次に,Pt下地上へのCo-Ptの成長メカニズムを探るために,Pt下地にArイオンシャワーを施し,格子定数および表面モフォロジーを変化させCo-Pt成長への影響を調べた.Arイオンシャワー照射時間によりPt下地の格子定数が変化するが,それに伴ってCo-Ptの格子定数も変化し,Co-PtはPt上にエピタキシャル的に成長していることが裏付けられた.保磁力は格子定数とともに大きくなったが,この挙動はこれまでの磁気異方性に関する報告から予想されるものとは異なった.また,角型比はCo-Ptの格子定数とではなく,Pt下地層の表面粗さと相関があり,表面粗さが大きいほど角型比が小さくなることが明らかになった.これはCo-Ptナノ粒子の結晶配向のばらつきで説明できる.以上のように,Pt下地の表面モフォロジーはCo-Ptの成長において非常に重要であり,これを制御することにより超高密度磁気記録に有利なCo-Ptナノ粒子の規則配列を実現できる可能性が示された.
英文摘要
前年度の研究で,Pt(111)下地上にガスフロースパッタ法により堆積させたCo-Pt薄膜は,幅約10nmの柱状の粒子からなり,c軸が基板に対して垂直となるような結晶配向を持っていること,そのようなナノ粒子構造が7kOeという高い垂直保磁力を生じることを明らかにした.本年度は,まず高保磁力の原因を探るために,熱処理条件を変化させたCo-Pt/Pt薄膜についてX線光電子分光(XPS)を用いて深さ方向の組成分析を行った.その結果,熱処理温度の上昇に伴って表面からCoの酸化が進行し,熱処理温度350℃では,ほとんどのCo原子が酸化していることが明らかになった.保磁力が最大となる熱処理温度は250℃であり,この温度ではCo-Pt層全体が酸化することなく,粒界のみに酸化層が析出することにより,磁区の分離が促され高保磁力を生じていることが明らかになった.次に,Pt下地上へのCo-Ptの成長メカニズムを探るために,Pt下地にArイオンシャワーを施し,格子定数および表面モフォロジーを変化させCo-Pt成長への影響を調べた.Arイオンシャワー照射時間によりPt下地の格子定数が変化するが,それに伴ってCo-Ptの格子定数も変化し,Co-PtはPt上にエピタキシャル的に成長していることが裏付けられた.保磁力は格子定数とともに大きくなったが,この挙動はこれまでの磁気異方性に関する報告から予想されるものとは異なった.また,角型比はCo-Ptの格子定数とではなく,Pt下地層の表面粗さと相関があり,表面粗さが大きいほど角型比が小さくなることが明らかになった.これはCo-Ptナノ粒子の結晶配向のばらつきで説明できる.以上のように,Pt下地の表面モフォロジーはCo-Ptの成長において非常に重要であり,これを制御することにより超高密度磁気記録に有利なCo-Ptナノ粒子の規則配列を実現できる可能性が示された.
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DOI:
10.1063/1.1847171
发表时间:
2005-05
期刊:
Journal of Applied Physics
影响因子:
3.2
作者:
[S. Mifuji;H. Sakuma;K. Ishii]
通讯作者:
S. Mifuji;H. Sakuma;K. Ishii
ガスフロースパッタ法により作製したCo-Pt/Pt膜の磁気特性に対するアニール効果
退火对气流溅射法制备Co-Pt/Pt薄膜磁性能的影响
DOI:
--
发表时间:
2005
期刊:
電気学会マグネティックス研究会資料 MAG-05-156
影响因子:
--
作者:
[西口浩平, 他, H.Sakuma, S.Mifuji, Y.Saitou, H.Sakuma, 三藤士郎]
通讯作者:
三藤士郎
Size-Controlled Growth of Fe Nanoparticles in Gas Flow Sputtering Process
气流溅射过程中 Fe 纳米粒子的尺寸控制生长
DOI:
--
发表时间:
2006
期刊:
Journal of Magnetics 11・3
影响因子:
--
作者:
[H.Sakuma, 他]
通讯作者:
他
Analysis of Atomic Arrangement in Magnetic Fe-Pt Nanoparticles
磁性铁铂纳米粒子的原子排列分析
DOI:
--
发表时间:
2006
期刊:
Journal of Magnetism and Magnetic Materials 300
影响因子:
--
作者:
[西口浩平, 他, H.Sakuma]
通讯作者:
H.Sakuma
Estimations of Plasma Parameters and BiasSputtering of Cu Films in Gas-Flow-Sputtering Operating at 1-Torr Pressure Region
1 托压力区域气流溅射中铜膜的等离子体参数和偏置溅射的估计
DOI:
--
发表时间:
2005
期刊:
Transactions of the Materials Research Societ of Japan 30
影响因子:
--
作者:
[西口浩平, 他, H.Sakuma, S.Mifuji, Y.Saitou]
通讯作者:
Y.Saitou
共 9 条
粒子状磁気記録媒体薄膜作成のための完全熱化高ガス圧スパッタ技術の開発
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批准号:09650379
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额:$2.05万
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财政年份:1997
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负责人:石井 清
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依托单位:
新機能電子材料創出のための極低エネルギ-原子流堆積装置の試作
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批准号:03555077
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项目类别:Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
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资助金额:$4.86万
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财政年份:1991
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负责人:石井 清
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依托单位:
高圧力中スパッタによる鉄超微粒子膜の生成とそのメカニズム
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批准号:63750277
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.58万
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财政年份:1988
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负责人:石井 清
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依托单位:
イオンビームスパッタによるパーマロイ膜の磁気異方性の測定
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批准号:58750225
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.64万
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财政年份:1983
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负责人:石井 清
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依托单位:
アモルファスY_3Fe_5O_<12>膜の作製と磁気特性および誘電率の測定
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批准号:56750195
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$0.51万
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财政年份:1981
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负责人:石井 清
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依托单位:
海外基金