Development of hard and brittle wafer-grinding machine equipped with vibration assisted spindle system
Development of hard and brittle wafer-grinding machine equipped with vibration assisted spindle system
配备振动辅助主轴系统的硬脆晶圆研磨机的开发
批准号：
26420069
负责人：
Yui Akinori
金额：
$3.24万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2018-03-31
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切込み機構内蔵砥石スピンドルを用いたシリコンウエハの揺動研削に関する研究
内置切削机构磨石主轴振动磨削硅片的研究
内置切削机构磨石主轴振动磨削硅片的研究
DOI：
--
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
作者：
[久住孝幸, 池田洋, 越後谷正見, 中村竜太, 赤上陽一, 久住孝幸, 久住孝幸 赤上陽一 松下大作 佐々木健二 照井伸太朗, 久住孝幸，赤上陽一，松下大作，佐々木健二，照井伸太朗, 池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一，千葉翔梧，伊賀美里, 藪野真大，北嶋孝之，由井明紀，伊東利洋]
通讯作者：
藪野真大，北嶋孝之，由井明紀，伊東利洋
450mm大口径ウエハ研削盤の開発ー切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性
450mm大直径晶圆磨床的研制-内置切削机构砂轮主轴的基本特性
450mm大直径晶圆磨床的研制-内置切削机构砂轮主轴的基本特性
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
[久住孝幸, 中村竜太, 池田 洋, 佐藤安弘, 赤上陽一, 岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum]
通讯作者：
岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
18th Intrenational Symposium on Advances in Abrasive Technology
第十八届国际磨料技术进展研讨会
第十八届国际磨料技术进展研讨会
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
450mmシリコンウエハ用ロータリ研削盤の開発（切込機構内蔵スピンドルの静剛性および位置決め精度）
450mm硅片旋转磨床开发（内置切削机构主轴静刚性及定位精度）
450mm硅片旋转磨床开发（内置切削机构主轴静刚性及定位精度）
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[久住孝幸, 池田 洋,中村竜太,佐藤安弘, 赤上陽一, 岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum]
通讯作者：
岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
砥粒加工学会誌
磨料加工学会杂志
磨料加工学会杂志
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[久住孝幸, 中村竜太, 池田 洋, 佐藤安弘, 赤上陽一, 岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum, 工作機械用水静圧テーブルの開発]
通讯作者：
工作機械用水静圧テーブルの開発
Development of low-flow pump for constant flow water hydro-static bearing
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批准号：17K06107
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$3.16万
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财政年份：2017
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负责人：Yui Akinori
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依托单位：
海外基金