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Evaluation of micro structure by fusion of three dimensional shape measurement and ultimate analysis using SEM

使用 SEM 融合三维形状测量和极限分析来评估微观结构

基本信息

批准号：
25289066
负责人：
Arai Yasuhiko
金额：
$ 11.9万
依托单位：
Kansai University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
起止时间：
2013-04-01 至 2017-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

11)新井泰彦，横関俊介: 電子スペックル干渉計測による面内・面外同時変形計測, 光学

11）Yasuhiko Arai、Shunsuke Yokoseki：通过电子散斑干涉测量、光学进行同步面内和面外变形测量

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
光学
影响因子：
0
作者：
K. Yanagisawa;Y. Yanagisawa;K. Sato;H. Nakagome;H. Maeda;平井規央，坂本佳子，矢後勝也，石井　実;高瀬圭祐，後藤博樹，一ノ倉理;新井　泰彦
通讯作者：
新井　泰彦

Spatial fringe analysis based on FFT using only two speckle pattern in ESPI

基于 ESPI 中仅使用两个散斑图案的 FFT 的空间条纹分析

DOI：
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yu-ichi Hayashi;Takaaki Mizuki;Hideaki Sone;大脇雄斗，湯野剛史，川邊武俊;Yasuhiko Arai
通讯作者：
Yasuhiko Arai

Two dimensional deformation vector analysis using speckle interferometry with same sensitivity in three directions

三个方向相同灵敏度的散斑干涉二维变形矢量分析

DOI：
10.1117/12.2235466
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
Y. Arai
通讯作者：
Y. Arai

スペックル干渉計測による構造物の座屈発生時の高分解能変形計測

使用散斑干涉仪对结构中发生屈曲时的变形进行高分辨率测量

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
中村紘;林優一;本間尚文;水木敬明;青木孝文;曽根秀昭;新井泰彦
通讯作者：
新井泰彦

Evaluation of micro structure by fusion of three dimensional shape measurement and ultimate analysis using SEM

使用 SEM 融合三维形状测量和极限分析来评估微观结构

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
中村紘;林優一;本間尚文;水木敬明;青木孝文;曽根秀昭;新井泰彦;戸由学，後藤博樹，一ノ倉理;泉田　啓，李承珪，山本啓貴，横山直人;Yasuhiko Arai
通讯作者：
Yasuhiko Arai

DOI：
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作者：
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作者：
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作者：
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作者：
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Arai Yasuhiko其他文献

Simulation-based verification of the shape measurement mechanism of micro structures beyond the diffraction limit using speckle interferometry

利用散斑干涉法对超出衍射极限的微结构形状测量机制进行仿真验证

DOI：
10.1080/09500340.2021.2024901
发表时间：
2022
期刊：
Journal of Modern Optics
影响因子：
1.3
作者：
Arai Yasuhiko
通讯作者：
Arai Yasuhiko

Shape Measurement Method of Two-Dimensional Micro-Structures beyond the Diffraction Limit Based on Speckle Interferometry

基于散斑干涉的超衍射极限二维微结构形状测量方法

DOI：
10.3390/photonics8100420
发表时间：
2021
期刊：
Photonics
影响因子：
2.4
作者：
Kim Ji-wook;Heo Dan;Wang Jie;Kim Hyung-sub;Ota Satoshi;Takemura Yasushi;Huh Chulhaeng;Bae Seongtae;Arai Yasuhiko
通讯作者：
Arai Yasuhiko

Microshape Measurement Method Using Speckle Interferometry Based on Phase Analysis

基于相位分析的散斑干涉微形状测量方法

DOI：
10.3390/photonics8040112
发表时间：
2021
期刊：
Photonics
影响因子：
2.4
作者：
Yusuke Hirota;Shinya Nakamura;Kohei Shiomoto;Hidetsugu Sugiyama;Noboru Yoshikane;Satoru Okamoto;Masaki Murakami;Takahiro Hirayama;Satoshi Yamanoi;Arai Yasuhiko
通讯作者：
Arai Yasuhiko

リアルタイムなデータを活用した５G時代のエッジコンピューティング～自動運転にみるダイナミックビッグデータビジネス～

利用实时数据的5G时代边缘计算-自动驾驶中的动态大数据业务-

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kim Ji-wook;Heo Dan;Wang Jie;Kim Hyung-sub;Ota Satoshi;Takemura Yasushi;Huh Chulhaeng;Bae Seongtae;Arai Yasuhiko;山中直明
通讯作者：
山中直明