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ブロックコポリマーの自己組織化技術により第３世代の３次元量子ドット太陽電池の作製

利用嵌段共聚物自组装技术制备第三代三维量子点太阳能电池

基本信息

批准号：
13J06425
负责人：
HUDA Miftakhul (2014)
金额：
$ 1.15万
依托单位：
Gunma University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2013
资助国家：
日本
起止时间：
2013-04-01 至 2015-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は、真性ポリシリコン層と絶縁層の多層膜をP型、N型のシリコン層で挟んだ多層膜PIN型基板を形成し、上面にブロックコポリマーを用いた自己組織化法により微小ドットを形成、転写により3次元Si量子ドット太陽電池構造を形成する技術の確立を目指した。ブロックコポリマーを用いた自己組織化法による微小ドットの形成には成功し、またパターン転写によって3次元Si量子ドット太陽電池構造を形成することが出来た。PS-PDMSブロックコポリマーを用いてピッチ10nm、直径5nmの均一・モノレヤー・ナノドット列を形成することができた。多層膜PIN型太陽電池基板にはピッチ33nm、直径23nmの均一・モノレヤー・ナノドット列をパターン転写することができた。実験によるとブロックコポリマーの自己組織化ナノドット列を多層膜太陽電池にパターンした試料はIV特製の測定により量子ドット型太陽電池の光発電の感度がフィルム型（パターン転写なし基板）より約1000倍上がりました。一方、太陽電池の基板作成においては、0.1%HF処理とオイルバック防止策でLPCVDによるpoly-Si膜を作製し、太陽電池の表面の改善のための技術を確立した。その結果、表面の凹凸の改善による課題解決の方向性を見出した。

In this study, the truth is that the P-type and N-type multi-film PIN substrates are used to form the multi-film substrate. In this study, we use the self-organization method to improve the formation of the micro-scale, the formation of the three-dimensional Si quantum cell, the formation of the multi-film PIN substrates, the formation of the PIN substrates, the formation of the PIN substrates. In this paper, we use the method of self-organization to analyze the success of the micro-computer, and then we can write the three-dimensional Si quantum capacitor cell to generate the output battery. The diameter of the 5nm is 10 nm, the diameter is uniform, and the diameter is 10 nm. The substrate of the multi-film PIN battery has an average temperature of 33 nm, and the diameter of the 23nm is uniform. In this paper, the optical sensitivity of the multifilm cell is 1000 times higher than that of the substrate (the substrate) is about 1000 times higher than that of the substrate (the substrate). On the one hand, the substrate of the electric power cell is used as a device, and the 0.1%HF management system is used to prevent the production of the poly-Si film. The surface of the battery is improved and the technology is established. The result of the experiment, the bump on the surface improves the direction of the problem-solving problem, and the direction is improved.