Laser direct-write grayscale photomasks

激光直写灰度光掩模

基本信息

  • 批准号:
    347333-2007
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.26万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    加拿大
  • 项目类别:
    Postgraduate Scholarships - Master's
  • 财政年份:
    2007
  • 资助国家:
    加拿大
  • 起止时间:
    2007-01-01 至 2008-12-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

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项目成果

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