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Development of a polymer MEMS fabrication technology for self-assembled MEMS devices
开发用于自组装MEMS器件的聚合物MEMS制造技术
基本信息
- 批准号：363340-2008
- 负责人：
- 金额：$ 1.53万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Postgraduate Scholarships - Doctoral
- 财政年份：2008
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2008-01-01 至 2009-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Development of a polymer MEMS fabrication technology for self-assembled MEMS devices
开发用于自组装MEMS器件的聚合物MEMS制造技术
- 批准号：
363340-2008 - 财政年份：2010
- 资助金额：
$ 1.53万 - 项目类别：
Postgraduate Scholarships - Doctoral
Development of a polymer MEMS fabrication technology for self-assembled MEMS devices
开发用于自组装MEMS器件的聚合物MEMS制造技术
- 批准号：
363340-2008 - 财政年份：2009
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$ 1.53万 - 项目类别：
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- 批准号：
105793-2008 - 财政年份：2011
- 资助金额：
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