Research on low-cost and large deflection angle MEMS mirrors using photo-sensitive polymer materials.

采用光敏聚合物材料的低成本大偏转角MEMS反射镜研究。

• 批准号: 23360113
• 负责人: OOHIRA FUMIKAZU
• 金额: $ 11.73万
• 依托单位: Kagawa University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23360113/
• 关键词: マイクロマシン; マイクロミラー; MEMS; ポリマーデバイス; マイクロファブリケーション; 知能機械システム; マイクロメカトロニクス

The new constructions of the MEMS mirror devices using polymer materials are proposed, and the technologies to realize the devices are examined. Two types of the devices are proposed, one is an electro-magnetic driven type device and the other is an outer magnetic driven type device using SU-8 containing micro magnetic particles. The devices are designed based on the evaluated polymer mechanical properties. As the results, the low cost fabrication was achieved owing to the simplified process and the large optical deflection angle more than 20 degrees was also achieved.

提出了利用聚合物材料的MEMS反射镜器件的新结构，并研究了实现该器件的技术。提出了两种类型的器件，一种是电磁驱动型器件，另一种是使用含有微磁性颗粒的SU-8的外磁驱动型器件。根据评价的聚合物机械性能设计器械。结果表明，由于简化了工艺，实现了低成本制造，并且还实现了大于20度的大光学偏转角。

项目成果

使用温度下におけるトーションバーの機械強度評価に基づくポリマーMEMS ミラーの設計と評価

基于工作温度下扭杆机械强度评估的聚合物MEMS反射镜设计与评估

• 发表时间: 2011
• 作者: 佐々木修;鈴木孝明;寺尾京平;高尾英邦;下川房男;貝原吉智;生津資大;大平文和
• 通讯作者: 大平文和

角度センサを集積したポリマーMEMS ミラーの駆動評価

带集成角度传感器的聚合物 MEMS 反射镜的驱动评估

• 发表时间: 2013
• 作者: 山下紘史;寺尾京平;高尾英邦;下川房男;大平文和;鈴木孝明
• 通讯作者: 鈴木孝明

吸引駆動型ポリマーMEMS ミラーの駆動特性に関する有限要素解析

吸力驱动聚合物MEMS镜驱动特性的有限元分析

• 发表时间: 2013
• 作者: 鈴木淳也;三浦卓也;寺尾京平;高尾英邦;下川房男;生津資大;森角寿之;大平文和;鈴木孝明
• 通讯作者: 鈴木孝明

FEM analysis of a polymer MEMS mirror using photosensitive nanocomposite

使用光敏纳米复合材料对聚合物 MEMS 镜进行 FEM 分析

• 发表时间: 2011
• 作者: T. Miura;T. Suzuki;K. Terao;H. Takao;F. Oohira;Y. Kaibara;and T. Namazu
• 通讯作者: and T. Namazu

Si/Polymerヒンジを組み合わせた2軸Hybrid-MEMSミラー

结合硅/聚合物铰链的 2 轴混合 MEMS 反射镜

• 发表时间: 2013
• 作者: 山下紘史;寺尾京平;高尾英邦;下川房男;大平文和;鈴木孝明
• 通讯作者: 鈴木孝明