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Directional ion beam etching for nanodevice fabrication

用于纳米器件制造的定向离子束蚀刻

基本信息

批准号：
440446-2013
负责人：
Girt, Erol
金额：
$ 1.94万
依托单位：
Simon Fraser University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
财政年份：
2012
资助国家：
加拿大
起止时间：
2012-01-01 至 2013-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=507232
关键词：
Directional ion beam etching nanodevice

项目摘要

We request a directional ion beam source for fabrication of metal and oxide nanostructures and devices. This source will be incorporated in an existing system at Surface Science Lab at SFU that has two vacuum chambers with Auger and e-beam evaporation capabilities. Auger spectroscopy will be used for insitu monitoring of the composition of etched layers and e-beam evaporation will be used for covering nanostructures with a protective layer before exposing them to air. Etching systems with similar capabilities do not exist in 4D Labs at SFU, AMPEL at UBC, or at UVic; therefore, nanostructure fabrication must currently be done overseas. This process can take up to six months, which can be a serious issue for both MSc students and postdocs. This etching system will support four projects: 1) fabrication of magnetic nanopillars for the study of spin torque transfer, 2) design of magnonic crystals for transmission, storage, and processing of information using spin waves, 3) fabrication of solid state memory with phase-change materials, and 4) fabrication of lateral spin valves for magnetic sensors. Currently 10 students, 2 postdocs, and 4 faculty members collaborate on these projects. With the addition of the directional ion beam etching system we will be able to deposit, fabricate, and study complex metal/oxide nanostructures all at SFU.

我们要求使用定向离子束源来制造金属和氧化物纳米结构和器件。该源将被纳入 SFU 表面科学实验室的现有系统中，该系统有两个具有俄歇和电子束蒸发功能的真空室。俄歇光谱将用于原位监测蚀刻层的成分，电子束蒸发将用于在纳米结构暴露于空气之前用保护层覆盖纳米结构。 SFU 的 4D 实验室、UBC 的 AMPEL 或 UVic 的 4D 实验室中不存在具有类似功能的蚀刻系统；因此，纳米结构的制造目前必须在海外进行。这个过程可能需要长达六个月的时间，这对于硕士生和博士后来说都是一个严重的问题。该蚀刻系统将支持四个项目：1）制造用于研究自旋扭矩传递的磁性纳米柱，2）设计用于使用自旋波传输、存储和处理信息的磁力晶体，3）用相变材料制造固态存储器，以及4）制造用于磁传感器的横向自旋阀。目前有 10 名学生、2 名博士后和 4 名教职人员在这些项目上进行合作。通过添加定向离子束蚀刻系统，我们将能够在 SFU 沉积、制造和研究复杂的金属/氧化物纳米结构。