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Low Stress Metals for Adaptive Optics MEMS Actuators

用于自适应光学 MEMS 执行器的低应力金属

基本信息

批准号：
464487-2014
负责人：
Neusitzer, Thomas
金额：
$ 0.33万
依托单位：
University of Manitoba
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
University Undergraduate Student Research Awards
财政年份：
2014
资助国家：
加拿大
起止时间：
2014-01-01 至 2015-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=559260
关键词：
Low Stress Metals Adaptive Optics

项目摘要

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项目成果

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