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Etching and characterization of thin films for semiconductor applications
半导体应用薄膜的蚀刻和表征
基本信息
- 批准号：509199-2017
- 负责人：
- 金额：$ 0.33万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Experience Awards (previously Industrial Undergraduate Student Research Awards)
- 财政年份：2017
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2017-01-01 至 2018-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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