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Developing a hybrid waterjet-laser micromachining technology and associated process models for damage-free fabrication of silicon substrates

Developing a hybrid waterjet-laser micromachining technology and associated process models for damage-free fabrication of silicon substrates
开发混合水射流-激光微加工技术和相关工艺模型，用于硅基板的无损制造
批准号：
DP110100690
负责人：
Prof Jun Wang
金额：
$26.69万
依托单位：
The University of New South Wales
依托单位国家：
澳大利亚
项目类别：
Discovery Projects
财政年份：
2011
资助国家：
澳大利亚
项目状态：
已结题
起止时间：
2011-01-01 至 2014-12-31
来源：
https://dataportal.arc.gov.au/RGS/Web/Grants/DP110100690
关键词：
Developinghybridwaterjetlasermicromachining

项目摘要

项目成果

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英文摘要
This hybrid micromachining technology will make it possible for damage-free, fast micro-fabrication of high-integrity devices such as high performance silicon solar cells. It will open new directions for the Australian manufacturing industry in micro-technologies. The environmental and economic benefits to the nation will be highly significant.
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会议论文
High-efficient abrasive waterjet machining of complex curved surfaces
  • 批准号：
    DP210101645
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Prof Jun Wang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
Developing and modelling an additive process for three-dimensional micro-fabrication
  • 批准号：
    DP180103689
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $9.18万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Prof Jun Wang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
Enhancing and modelling the abrasive waterjet impact and erosion process
  • 批准号：
    DP170100643
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $25.23万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Prof Jun Wang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
Modelling the cutting process and cutting performance in high-speed abrasive waterjet turning
  • 批准号：
    DP110103150
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $14.78万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    Prof Jun Wang
  • 依托单位：
    The University of New South Wales
国内基金
海外基金
一种经心房覆膜血管支架植入 Hybrid Fontan 手术的 临床新技术研究
基于深度压缩技术的Hybrid像素探测器读出系统原型机研制
  • 批准号：
    11875146
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    62.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    王东
  • 依托单位：
    华中师范大学
模拟胰岛“hybrid”修饰抗原诱导tolDC免疫保护1型糖尿病β细胞研究
  • 批准号：
    81770777
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    56.0万元
  • 批准年份：
    2017
  • 负责人：
    顾愹
  • 依托单位：
    南京医科大学
PSMA靶向Hybrid-SiO2基纳米诊疗剂用于前列腺癌HIFU治疗及增效机制研究
  • 批准号：
    81601499
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    17.0万元
  • 批准年份：
    2016
  • 负责人：
    姚明华
  • 依托单位：
    同济大学